Gebraucht ASML AT-850D #9269679 zu verkaufen
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ID: 9269679
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Stepper, 12"
SMIF
SECE
Reticle size: 6"
Wafer type: Notch
Left inline flow
FOUP Left type
MK V Type: RH Library
BMU Type: Standard
Light source: CYMER ELS-7600
Stage:
Scan speed: 320 mm/sec
Pin chuck
2004 vintage.
ASML AT-850D ist ein Wafer-Stepper zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Dieses fortschrittliche Tool bietet überlegene Leistung, wenn es um hochauflösende Prozesse und Genauigkeit geht. Die Maschine hat eine kompakte Größe und ist in der Lage, Wafer bis zu 8 Zoll Durchmesser mit einer Auflösung von bis zu 5 µm zu handhaben. Es ist mit nicht einem, sondern zwei fortschrittlichen Lithographiesystemen ausgestattet, die mit hochpräzisen Linsen und einer laserbasierten Autofokus-Ausrüstung ausgestattet sind. ASML AT850D ist dank seines fortschrittlichen Musterplatzierungssystems in der Lage, hervorragende Bildgebungs- und Musterergebnisse zu erzielen. Diese Einheit integriert fortschrittliche Maskenausrichter, optische Ausrichtung, automatische Kantenerkennung und fortschrittliche Beleuchtungstechniken, die überlegene Bildqualität und Genauigkeit bieten. Die Maschine ist auch mit einer Hochleistungs-CCD-Kamera ausgestattet, die zur schnellen, genauen Erkennung von Defekten und automatisierten Musterplatzierung entwickelt wurde. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, mehrere Mustererkennungssimulationen durchzuführen, die eine effiziente Herstellung mehrerer verschiedener Schichten auf einem einzigen Wafer ermöglichen. Wenn es um Sicherheit geht, sorgt AT 850D mit seinem sicherheitskonformen Autokollimator-Werkzeug und der Luftdruckregelung für einen sicheren Betrieb. Es verfügt auch über ein ausgeklügeltes Motordesign mit empfindlichem Überlastschutz, der unsichere Betriebsbedingungen am Schrittmotor verhindert. Abgesehen von diesen Merkmalen verfügt die Maschine über eine breite Palette an Zubehör wie eine interne Inspektionseinheit, eine Linsenreinigungsstation, einen Waferlader/Entlader, ein Kühlgerät, ein Fördermodell und vieles mehr. Dies gewährleistet einen effizienten und sicheren Betrieb des Wafer-Schrittes. Abschließend ist ASML AT 850D der perfekte Wafer-Stepper für diejenigen, die eine hochauflösende Produktion von Halbleiterbauelementen suchen. Es ist mit fortschrittlichen Lithographie- und Bildgebungstechnologien, gründlichen Sicherheitsmerkmalen und einer breiten Palette von Zubehör ausgestattet, die hervorragende Ergebnisse liefern.
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