Gebraucht ASML AT400S #293625709 zu verkaufen
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ID: 293625709
i-Line stepper
With scanner
With TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12
Wavelength: 365 nm.
ASML AT400S ist ein fortschrittlicher, hochmoderner Wafer-Stepper für die Photolithographie, mit dem integrierte Schaltungen gemustert werden. Es ist ein spezialisiertes, hochgenaues Werkzeug zur Erzeugung von Submikronstrukturen auf einem Halbleiterwafer. Es verwendet fast ultraviolettes, sichtbares oder infrarotes Licht und eine Maske, um ein Muster auf eine Oberfläche zu übertragen. AT400S verfügt über eine 700mm, 300mm Feldgröße und eine erweiterte Theta-Positionierstufe. Dieses Gerät hat eine Auflösung von 5-6nm lineare und 12nm Drehgenauigkeit. Es hat eine numerische Apertur von 0,55, wodurch es in der Lage ist, an hochauflösenden ICs mit sehr engen Toleranzen zu arbeiten. ASML AT400S ist mit einer Vielzahl von Automatisierungsfunktionen konzipiert, darunter Bilderkennung, Bewegungssteuerungssysteme und automatisierte Stapelverarbeitung. Es hat auch die Fähigkeit, Rezepte zu speichern und abzurufen, so dass der Musterdesigner das System schnell einrichten und ausführen kann. AT400S ist äußerst benutzerfreundlich, mit einer grafischen Benutzeroberfläche und intuitiver Steuerung. Es verfügt über eine integrierte Verfolgungs- und Ausrichtungseinheit, die automatisch die Registrierungsgenauigkeit beibehält, indem die Parameter für die Mustereinrichtung und die Ausrichtung für jeden Belichtungszyklus verfolgt werden. Dies ermöglicht wiederholbare und vorhersehbare Ergebnisse. ASML AT400S ist mit einer Wafer-Scanner-Maschine ausgestattet, die das Scannen ganzer Wafer auf Fehler ermöglicht. Dieses Werkzeug hat die Fähigkeit, fehlerhafte Abschnitte zu erkennen und abzulehnen, die Erträge zu verbessern und Zeit zu sparen. Die Produktionskapazitäten von AT400S sind beispiellos, da das Asset mit einer Geschwindigkeit von bis zu 60.000 Einheiten pro Stunde betrieben werden kann. So können Hersteller ihre Produktionseffizienz steigern, Kosten senken und die Produktqualität verbessern. Insgesamt ist ASML AT400S ein anspruchsvoller, präziser Wafer-Stepper, der integrierte Schaltungen mit hochgenauen Mustern und extrem engen Toleranzen schafft. Dieses Modell ist mit einer Vielzahl von Automatisierungsfunktionen, intuitiven Bedienelementen und Produktionsgeschwindigkeiten konzipiert, die in der Branche unerreicht sind.
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