Gebraucht ASML AT400S #293638713 zu verkaufen
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ID: 293638713
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2001
i-Line scanner, 12", parts system
Wavelength: 365 nm
(2) XCWC
Racks:
MCWC
LCWC
MDC
AA LMA
Airmount
AA
CT
MO
MI
IPDR
RH
PFU
RS
WS
MO
MI
WH
RS Balance mass
RS Long stoke-Y
WS Short stroke-Z
RS Short stroke-XZ
WS E-side long stroke
WS Balance mass
WS Short stroke horizontal
Bottom module
2001 vintage.
ASML AT400S Wafer Stepper ist ein Gerät zur Übertragung von Mustern auf Halbleiterscheiben. Es ist ein hochgenaues Werkzeug, das in der Lage ist, die Schaltung auf einer Fotomaske präzise auf den Wafer zu strukturieren. AT400S Wafer Stepper besteht aus einer Bühne, einem optischen Kopf und einer Systemsteuerung. Die Bühne hat die Fähigkeit, den Wafer entlang der x- und y-Achse mit einer Genauigkeit von bis zu 0,25 Mikrometer zu bewegen. Darüber hinaus verfügt die Stufe über ein eingebautes Heizelement und eine thermische Platte, die die Temperatur des Wafers regulieren kann. Dies sichert die Produktion von hochwertigen Produkten. Der optische Kopf enthält ein Reduktionslinsensystem, das den Strahl von der Maske auf den Wafer ausrichtet. Es verwendet eine Rh-Art von Maske, um das Licht zum Ätzen der Wafer zu erzeugen. Der Strahl ist genau auf die Oberfläche des Wafers ausgerichtet, so dass das Muster ohne Verzerrung genau übertragen wird. Die Systemsteuerung ist das Herzstück der Maschine. Es ist verantwortlich für die Überwachung und Steuerung der verschiedenen Teile der Maschine (einschließlich der Bühne, optischen Kopf, Intensität und Fokus des Strahls, und Belichtungszeit). Es speichert auch die notwendigen Parameter jeder Schaltung, so dass die Maschine jeden Wafer genau mustern kann. ASML AT400S Wafer Stepper wurde speziell entwickelt, um höchste Genauigkeit und Präzision bei der Übertragung des Musters auf den Wafer zu gewährleisten. Es ist ein zuverlässiges und einfach zu bedienendes Werkzeug, das das Risiko von Fehlern minimiert und ein fertiges Produkt garantieren kann, das den höchsten Standards entspricht.
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