Gebraucht ASML AT760D #9298747 zu verkaufen

ASML AT760D Wafer Stepper ist eine hochmoderne Maschine, die in der Halbleiterherstellung eingesetzt wird. Es ist so konzipiert, dass Halbleiterscheiben innerhalb eines begrenzten Raumes bewegt werden, um die Scheiben genau auszurichten und dem Licht auszusetzen, das von einer UV-Lichtquelle während der „Schritt-“ und „Abtaststufen“ erzeugt wird. AT760D kann verschiedene Waferdurchmesser (150, 200 & 300 mm) handhaben und ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, die es ermöglichen, einen Großteil der Schrittoperationen organisch und automatisch durchzuführen. Der Stepper kann in einer Vielzahl von Lithographieanwendungen wie Deep Ultraviolet (DUV), Extreme Ultraviolet (EUV) und Extreme Ultraviolet Nano-Lithographie (Nano-EUL) eingesetzt werden. Darüber hinaus ist ASML AT760D in der Lage, mehrere Schichten von Retikeln zu handhaben, so dass es ideal für Anwendungen mit mehreren Mustern ist. AT760D verwendet eine einzigartige Scanner-Positionskontrollausrüstung, um eine genaue Musterplatzierung zu gewährleisten. Dieses System nutzt ultrahochpräzise lineare Skalen, die Echtzeit-Wafer Bewegung und Position genau messen. Zusätzlich reduziert die Anlage die Abfallproduktion, da sie Fehler bei der Mustererfassung und Überlappung minimiert. ASML AT760D wurde entwickelt, um die Platzierung von Mustern durch seine fortschrittliche überlagerte Schrittmaschine zu optimieren. Während sich der Wafer über die Bühne bewegt, wird seine Position in Echtzeit verfolgt und seine Bewegung dynamisch kompensiert, um eine genaue Musterplatzierung zu gewährleisten. Dies minimiert die Schrittbetriebszeit und erhöht die Durchsatzrate. AT760D ist für maximalen Werkzeugdurchsatz und maximale Leistung ausgelegt. Es nutzt eine optimierte Vakuum-Zuführung mit mehreren benachbarten Waferstufen für kürzere Ausrichtungszeit und verbesserte Platzierungsgenauigkeit. Darüber hinaus sorgen die hochzuverlässigen Bewegungssteuerungssysteme des Steppers für eine hervorragende Batch-to-Batch-Genauigkeit und Wafer-zu-Wafer-Konsistenz. ASML AT760D unterstützt auch eine Vielzahl von Optionen, um die Produktionsanforderungen zu erfüllen, wie Luftschleifmittel und thermische Glühfähigkeiten. Darüber hinaus ist der Stepper mit einem fortschrittlichen Vakuummodell ausgestattet, um präzise Transfers zu ermöglichen und die Partikelerzeugung zu reduzieren. Zusätzlich zu seinen fortschrittlichen Funktionen verfügt AT760D über verbesserte Umweltfunktionen wie staubdichte Konstruktion, verbesserte Dichtung und antistatische Designs. Diese Merkmale sorgen dafür, dass der Stepper effizient und zuverlässig arbeitet und den Sicherheitsvorschriften und -standards entspricht. Insgesamt ist ASML AT760D Wafer Stepper eine fortschrittliche und zuverlässige Maschine für Lithographieanwendungen. Mit seiner präzisen Abtastausrüstung, einem optimierten Einspeisesystem, verbesserten Optionen und Umweltfunktionen ist es sicher, die anspruchsvollsten Anforderungen an die Halbleiterproduktion zu erfüllen.