Gebraucht ASML C-QUAD #9070539 zu verkaufen
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ID: 9070539
Illuminator
Designed for 5-slot illuminator holder
Used on ASML Twinscan XT1900Gi
Currently in storage.
ASML C-QUAD ist ein in der Halbleiterlithographie verwendeter Waferstepper. Es ist ein kritisches Werkzeug, das in der gesamten Halbleiterherstellungsindustrie eingesetzt wird, da Halbleiterchips in extrem feiner Auflösung strukturiert werden können. C-QUAD verfügt über fortschrittliche optische Technologie, Firmware und Software sowie eine Reihe spezialisierter anpassbarer Komponenten. ASML C-QUAD kann Schichten von Photolack mit großer Genauigkeit mit einem Stepper Alignment Equipment (SAS) belichten. Das Schrittausrichtungssystem kontrastiert Musterausrichtungsstellen, sogenannte fiducials, zwischen dem Retikel und dem Wafer, um eine präzise Ausrichtung für jede Belichtung zu gewährleisten. Darüber hinaus sorgt ein fortschrittliches optisches Design dafür, dass die bildgebenden Eigenschaften jeder Belichtung hoch bleiben. Innerhalb des Wafer-Steppers selbst sind eine Reihe von Schlüsselkomponenten enthalten. Eine Laser-Interferometer-Einheit ist enthalten, um die Positioniergenauigkeit zu erhalten, und die Schritthardware verfügt über Sensoren, um Bewegung und Temperatur für Betriebsbedingungen zu erfassen. C-QUAD verfügt zudem über eine Autofokusmaschine mit großer Kapazität und eine optimierte Reticle-Bibliothek. Die Reticle-Bibliothek speichert hochauflösende Informationen über geplante Muster, die für die Belichtung verwendet werden. ASML C-QUAD ist in der Lage, zwischen vielen Retikeln zu speichern und umzuschalten, wodurch verschiedene Muster freigelegt werden können, ohne ein Retikel ersetzen zu müssen. Um eine optimale Leistung zu gewährleisten, umfasst C-QUAD eine spezialisierte Software. Eine Reihe von Protokollen werden verwendet, um einen präzisen Betrieb im gesamten Stepper zu gewährleisten. Diese Protokolle reichen vom Datenzugriff bis zur Vorbelichtungskalibrierung und Ausrichtung. Darüber hinaus umfasst die Software Kommunikationsprotokolle zur Sicherstellung der Datensynchronisation mit der Reticle-Bibliothek und anderen externen Datenquellen. Die fortschrittlichen Funktionen von ASML C-QUAD machen es zu einer idealen Wahl für viele Halbleiterherstellungseinrichtungen. Es ist eine zuverlässige Lösung für die Herstellung von hochwertigen Halbleiterchips mit sehr feinen Auflösungen. Mit seiner breiten Palette an anpassbaren Komponenten und fortschrittlicher Software und Hardware bietet C-QUAD ausgezeichnete Genauigkeit und Leistung.
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