Gebraucht ASML FLOW SUB B/D #9292389 zu verkaufen

ASML Flow Sub B/D ist ein Wafer-Nivelliergerät, das zur Echtzeit-Steuerung von Waferbandweglänge und Wafer-Ebenheit entwickelt wurde. Sie ist in der Lage, Variationen in der Waferbandgeometrie und Oberflächengüte genau zu messen, einzustellen und auszugleichen. Das System verfügt über eine anspruchsvolle mechanische und elektronische Steuereinheit, um die höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit in der Auflösung von Waferbandgeometrie und Ebenheit zu bieten. Die Maschine verwendet ein fortschrittliches Dual-Plane-Scan-Tool, um optimale Bahnlängen- und Ebenheitsmessungen zu gewährleisten. Eine Ebene ist der Übersicht über die gesamte Fläche des Wafers gewidmet, während die andere Ebene der Tiefe der Fläche gewidmet ist. Der Übersichtsscan ermöglicht es dem Anwender, große Unregelmäßigkeiten auf der gesamten Waferoberfläche sowie Tiefeneigenschaften zu erkennen und zu messen. Mit diesem Verfahren kann der Benutzer verschiedene elektrische und/oder optische Merkmale auf dem Wafer erfassen und messen. Der tiefergehende Scan bietet detailliertere Messungen kleinerer Funktionen, wodurch Benutzer die Oberfläche des Wafers besser verstehen können. Das Asset umfasst ein 4-Achsen-Bewegungsmodell, das große Scheibengrößen bis 300 mm Durchmesser handhaben kann. Die Ausrüstung enthält auch 4 lineare Servomotoren, um eine genaue und reibungslose Bewegungssteuerung des Wafers zu gewährleisten. Darüber hinaus umfasst das System eine 9-Achsen-Bewegungssteuerung, mit der der Bandweg exakt auf die exakte Geometrie des Waferbandes ausgerichtet ist. Um die höchste Genauigkeit der Maschine zu gewährleisten, enthält der Flow Sub B/D eine Reihe fortgeschrittener optischer Ausrichtungssensoren mit Laserlichtprojektoren. Dadurch wird sichergestellt, dass die Werkzeugtoleranzen in einer hohen Genauigkeit eingehalten werden. Es ermöglicht dem Benutzer auch, die Leistung von Waferbändern während langer Produktionsläufe und vorausschauender Wartungsanforderungen zu verfolgen. Zum Asset gehört auch ein magnetisches Encoder-Modell, das die Gesichtserkennung des Wafers und die Orientierungsregistrierung ermöglicht. Dieses Gesichtserkennungsgerät ermöglicht es dem System, die Ausrichtung des Wafers genau zu bestimmen und sicherzustellen, dass das Waferband richtig ausgerichtet ist. Der Flow Sub B/D ist als effizientes, zuverlässiges und präzises Werkzeug für Wafer-Nivellierer konzipiert. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und der präzisen Steuereinheit ist ASML Flow Sub B/D in der Lage, Variationen in der Waferbandgeometrie und Ebenheit genau zu messen, einzustellen und auszugleichen.