Gebraucht ASML LISAP 3P #9292410 zu verkaufen
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ASML LISAP 3P ist ein Waferstepper der nächsten Generation, der in der Halbleiterindustrie für photolithographische Anwendungen verwendet wird. Die Maschine verfügt über eine anspruchsvolle Drei-Platten-Struktur für effiziente, effiziente und präzise inkrementelle Bewegung und Ausrichtung von Schichten von Halbleiterscheiben. Die Hauptkomponenten des Wafer-Schrittes sind der Hauptrahmen, Antriebsausrüstung, Synchronmotoren, Interferomotor, optisches System, Vakuumeinheit und andere periphere Komponenten. Der Hauptrahmen wurde entwickelt, um eine stabile und stabile Bewegung und Bedienung des Wafer-Steppers zu gewährleisten. Dies geschieht durch eine ultraleichte und starre Konstruktion, bestehend aus einem Innengehäuse, einer Trägerplatte und einer Außenwand. Die Antriebsmaschine beinhaltet einen eingebetteten Antriebsmotor, der eine reibungslose und präzise inkrementelle Bewegung des Schrittes ermöglicht. Die Motoren werden von einem programmierbaren Motorantrieb angetrieben, der die Drehzahl der Motoren mit hervorragender Genauigkeit genau steuern kann. Das optische Werkzeug verwendet Strahlformtechnologie, um die höchste Auflösung und Genauigkeit der Schrittbewegung zu gewährleisten. Diese Ressource besteht aus einer Kombination aus Multilayer-Optik-Technologie, Mikrolithographie-Techniken und präzisen Kalibrierungen, die alle zusammenarbeiten, um eine perfekte Laserausrichtung und genaue Positionierung der Wafer zu gewährleisten. Das Vakuum-Modell wird verwendet, um eine sichere Umgebung zu erhalten, während der Stepper in Betrieb ist und eine reibungslose und saubere Arbeitsumgebung bietet. Der Stepper verfügt über eine Vielzahl von erweiterten Funktionen, die es sehr anpassbar machen. Die Bedienerkonsole ist mit Touchscreens und Tasten ausgestattet, um eine intuitive Programmierung und Bedienung des Steppers zu ermöglichen. Es kann programmiert werden, um mehrere verschiedene Arten von Photolithographie-Prozessschritten auszuführen und passt die Parameter automatisch an die Prozessanforderungen an. Darüber hinaus kann die Maschine mit anderen Scannern und anderen spezialisierten Geräten wie Mustergeneratoren und optischen Messtechnik-Systemen integriert werden. LISAP 3P ist eine äußerst zuverlässige und robuste Maschine, die auf die anspruchsvollen und präzisen Produktionsanforderungen der Halbleiterindustrie ausgelegt ist. Seine fortschrittlichen Funktionen kombinieren, um eine effiziente und präzise Wafer Positionierung Fähigkeit zur Verfügung zu stellen, so dass genaue und wiederholbare Produktionszyklen.
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