Gebraucht ASML NXT-AI #9304318 zu verkaufen

ASML NXT-AI ist ein Wafer-Stepper, der eine hochpräzise Strukturierung von Halbleiterwaferoberflächen ermöglicht. Diese Maschine ist ein Stepper, d.h. sie verwendet einen Schritt-und-Wiederholungsprozess, um ein Resistmaterial abzulegen, um die Waferoberfläche zu mustern, im Gegensatz zum vollständigen Abtasten jedes Wafers, wie es bei einer Belichtungseinrichtung der Fall ist. Die Maschine besteht aus vier Hauptkomponenten: einem Substratabgabesystem, einer Laserbelichtungseinheit, einer Nachbelichtungsmaschine (PEB) und einem Inspektions-/Reinigungs-/Trocknungswerkzeug. Die Substratabgabestelle legt den Wafer auf eine rotierende Platte ab, die dann dem optischen Scanner zugeführt wird. Der Scanner verwendet Energie aus dem Laser, um das Muster auf der Waferoberfläche zu erzeugen, indem er das Resistmaterial freilegt. Das PEB-Modell wird verwendet, um dem Muster beim Backen des Resists zu helfen. Sobald das Muster erstellt ist, wird die Inspektionsausrüstung verwendet, um den Wafer auf Fehler zu überprüfen, und das Reinigungs-/Trocknungssystem wird verwendet, um den Wafer vor dem Versand abzuwischen. Das Hauptmerkmal von ASML NXT AI ist seine zweistufige Röntgenprojektionseinheit, die eine hochpräzise Nanomusterung ermöglicht. Diese Maschine verwendet eine Acht-Nanometer-Auflösung für eine extrem detaillierte strukturierte Waferoberfläche. Die Maschine ist auch mit einer Off-Axis-Quelle ausgestattet, die die Genauigkeit der Strukturierung verbessert, indem sie einheitlichere Muster von Rand zu Rand erzeugt. Darüber hinaus ist die Maschine mit einem Selbstausrichtwerkzeug sowie verschiedenen Dosier- und Platziersystemen ausgestattet, die die Prozessvariabilität begrenzen. Der NXT-AI Wafer Stepper ist mit einem internen Hochgeschwindigkeitsspeicher und Verarbeitungsfunktionen konzipiert, die einen hohen Durchsatz und effizienten Betrieb gewährleisten. Die Maschine ist VOC-frei und soll eine hohe Mustertreue bieten. Sie erfüllt auch AEC-Q213 Anforderungen und ermöglicht im Falle eines Verarbeitungsfehlers zuverlässige On-the-Fly-Anpassungen. Darüber hinaus ist die Maschine mit automatisierten Wartungsfunktionen ausgestattet, die Ausfallzeiten reduzieren und die langfristige Zuverlässigkeit erhöhen. Insgesamt ist NXT AI Wafer Stepper eine fortschrittliche Maschine, die hochauflösende Muster auf Halbleiterscheiben mit hoher Treue, Präzision und Zuverlässigkeit liefert. Diese Maschine wurde entwickelt, um den Halbleiterherstellern maximale Effizienz und Leistung zu bieten, und ihre fortschrittlichen Funktionen ermöglichen es ihr, komplizierte und hochauflösende nanomustergestützte Oberflächen zu schaffen.