Gebraucht ASML PAS 2500 / 30 #9190605 zu verkaufen

ASML PAS 2500/30 ist ein Wafer-Stepper, der bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist eine hochmoderne Ausrüstung, die Optik, Mechanik und Steuerungstechnik kombiniert, um hochauflösende und hochgenaue Belichtungsbilder zu erzeugen. Die fortschrittlichen Fähigkeiten dieses Steppers machen es für eine Vielzahl von Anwendungen und Produktionsanforderungen geeignet. Das System verwendet eine Langstreckenlinse mit geringer Vergrößerung, um die Fokusverschiebung im nahen Infrarotbereich zu reduzieren. Dies ermöglicht die Produktion von Kurzbelichtungen von 30 bis 120 ms und einen erhöhten Durchsatz. Die X/Y-Stufen verwenden Präzisionsservo-basierte Bewegungssteuerung mit fortschrittlichen Algorithmen, um eine höchste Präzisionsbewegungssteuerung in einem engen Paket bereitzustellen. Das Gerät verwendet die Schritt- und Wiederholungstechnologie, um einen hohen Durchsatz durch schnelles Schreiben von Bildern auf Wafer zu erreichen. Der Stepper hat eine sequentielle Feldbeleuchtung (FSI) und unterstützt außerdem eine gleichmäßige, gleichmäßige Flussbeleuchtung (EFI) zur Steuerung der Belichtungsdosis und zur Verbesserung der Genauigkeit und Gleichmäßigkeit der Bildauflösung. Der Stepper verfügt auch über programmierbare Belichtungssysteme, um die Belichtungsenergie zu optimieren und die Auswirkungen von Fokus und thermischer Drift während der Belichtung zu reduzieren. Die Maschine verfügt über ein genaues und schnelles automatisches Kalibrierwerkzeug, das für die Ausrichtung und Fokusabweichung angepasst werden kann, was zu einem erhöhten Durchsatz und reduzierten Ausfallzeiten führt. Es enthält auch Systeme zur Profil- und Anomalieerkennung, die eine bessere Kontrolle der Lichtintensität für die Dosisgenauigkeit der Belichtung ermöglichen. Darüber hinaus verwendet das Asset Fehlerinspektions- und Überprüfungssysteme, um die Qualität von belichteten Bildern zu überprüfen. PAS 2500/30 ist ein fortschrittliches Modell, das es für die Produktion von Halbleiterbauelementen mit höchster Genauigkeit und Präzision geeignet macht. Es verfügt über hervorragende Funktionen wie präzise Bewegungssteuerung, Feld-sequentielle Beleuchtung, Belichtungsdosisgenauigkeitssysteme, Bildüberprüfungssysteme und Fehlererkennung. Damit ist es ein zuverlässiges und effizientes Werkzeug für die Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente.