Gebraucht ASML PAS 2500 / 30 #9241931 zu verkaufen

ASML PAS 2500/30 Wafer Stepper ist ein Stück Ausrüstung in Halbleiterherstellungsverfahren verwendet, um Muster auf der Oberfläche der integrierten Schaltung (IC) Substrate zu belichten. Es ist eine Präzisionsvorrichtung, die in der Lage ist, Schaltungsmerkmale genau und konsistent auf einen Siliziumwafer mit höchster Genauigkeit zu drucken. PAS 2500/30 ist ein fortschrittliches Stepper-Design, das optische Reduktionstechniken verwendet, um das gewünschte Muster auf einem Silizium-Wafer genau zu belichten. Der Stepper ist mit zwei Steuersystemen, einer äußeren Ausrüstung und einem inneren System konfiguriert. Die äußere Einheit ist für das Reinraummanagement verantwortlich, indem sie den Wafer kontrollierten Prozessen aussetzt und präzise Ausrichtungen und Genauigkeit beibehält. Die innere Maschine ist für die Feinabstimmung der Belichtung des Wafers verantwortlich. Dieses Tool überwacht und regelt die Mustergenauigkeit, Ausrichtung und die Prozesse, die erforderlich sind, um die gewünschte KE-Größe zu erreichen. ASML PAS 2500/30 nutzt eine Vielzahl von Optiken und einen Step-and-Repeat-Ansatz. Das optische Array besteht aus mehreren Linsen, Filtern und anderen Komponenten, die alle exakt ausgerichtet sind, um das Eingangsmuster auf einen Siliziumwafer zu lenken. Dieses optische Array wird mit einem Schritt-und-Wiederholungsansatz kombiniert, um die Wafermuster genau zu belichten. Der Stepper zykliert das fokussierte Muster und den Träger durch Indexinkremente und schreitet das gesamte Feld mit einer festen Anzahl von Malen pro Zyklus. Dadurch wird eine genaue Musterbelichtung gewährleistet. Die äußere Anlage des Steppers überwacht die Atmosphäre und die Lichtabschirmung der Waferüberlagerung und kann die Umgebungsbedingungen wie Temperatur und Luftdruck steuern. Dadurch wird sichergestellt, dass die Belichtung des Wafers genau so ist, wie im Musterlayout angegeben. Darüber hinaus enthält PAS 2500/30 eine Reihe von Präzisionsprüf- und Messtechnikwerkzeugen, die zur Überwachung und Messung der Leistung des Steppers verwendet werden können. Diese Tools können Daten zur Exposition, Ausrichtung und Leistung des Steppers bereitstellen und helfen, potenzielle Probleme mit seinem Betrieb zu identifizieren. Insgesamt ist ASML PAS 2500/30 ein hochentwickelter und präziser Wafer-Stepper, der für Halbleiterherstellungsprozesse entwickelt wurde. Es ist in der Lage, Muster auf einem Siliziumwafer mit höchster Genauigkeit zu belichten, so dass hochwertige integrierte Schaltungen hergestellt werden können. Dieser Stepper ist ein wertvolles Gerät für jede moderne Halbleiterherstellungsanlage.