Gebraucht ASML PAS 2500 / 30 #9356985 zu verkaufen

ASML PAS 2500/30 ist ein hochauflösender CD-Stepper in persönlicher Größe für eine Vielzahl von Waferbearbeitungsanwendungen. Es ist eine leistungsstarke Lösung für Fertigungsanwendungen mit Submikrometer-Funktionsgrößen und bietet überlegene Prozesssteuerung, hohen Durchsatz und ultrasauberen Betrieb. Der Stepper kombiniert die Vorteile der Elektronenstrahllithographie mit der Flexibilität und Kompatibilität einer kompakten Plattform und ist damit die perfekte Wahl für die Halbleiterherstellung. Die 200mm-Wafer-Plattform von PAS 2500/30 bietet die höchste Auflösung der Wafer-Verarbeitung und übertrifft damit andere integrierte Lithographiesysteme. ASML PAS 2500/30 bietet modernste Parametersteuerung unter Verwendung fortschrittlicher Algorithmen, die eine Optimierung der Submikron-Overlay über das gesamte Feld ermöglicht. Der Wafer-Stepper verwendet ein diffraktives optisches Element in Verbindung mit einem strahlbildenden Spiegel, um eine wiederholbare Überlagerung in einem weiten Bereich von Arbeitsabständen zu gewährleisten. PAS 2500/30 bietet eine äußerst saubere Umgebung mit einem Design, das die elektrostatischen Entladungsbedingungen reduziert. Diese Kombination eliminiert das Aufspritzen von Photolack auf Wafer und ermöglicht die Verarbeitung empfindlicher Materialien mit beispielloser Prozessbreite. Die gesamte integrierte Umgebung umfasst ein genaues 2-Achsen-programmierbares Ausrichtsystem, PC-gesteuerte Temperaturen und ein konformes konformes Beschichtungssystem. ASML PAS 2500/30 wurde unter Berücksichtigung der Modularität entwickelt, so dass Benutzer die Konfiguration des Systems erweitern oder ändern können, um ihren Herstellungsanforderungen gerecht zu werden. Es umfasst auch eine komplette Suite integrierter Messtechnik und Inspektionswerkzeuge mit intuitiven grafischen Schnittstellen für einfaches Setup und optimale Steuerung. Der Wafer-Stepper ist mit einer skalierbaren Kühllösung ausgelegt, die bei steigendem Produktionsbedarf eine weitere Leistungssteigerung ermöglicht. All diese Funktionen machen PAS 2500/30 zur intelligenten Wahl für erweiterte Waferbearbeitungsanwendungen.