Gebraucht ASML PAS 2500 / 40 #293629183 zu verkaufen

Hersteller
ASML
Modell
PAS 2500 / 40
ID: 293629183
Stepper.
ASML PAS 2500/40 ist ein Wafer-Stepper zur Herstellung von Halbleitern, Anzeigetafeln und medizinischen bildgebenden Komponenten. Es ist mit modernster optischer Bildgebungs-, Projektions- und Positionierungstechnologie ausgestattet, um eine optimale Bildgleichförmigkeit und Substratbewegungssteuerung in Halbleiterverarbeitungsanwendungen zu ermöglichen. Kern der Ausrüstung ist ein Dual-Imager-Setup, das zwei 125-mm-Laser zu einer einzigen 250-mm-Quelle kombiniert. Diese Funktion ist verantwortlich für den hohen Durchsatz und die sehr hochauflösende Abbildung von Substraten bis 8 "Durchmesser. Darüber hinaus ist das Dual-Laser-System in der Lage, 350nm Lichtquelle Bildgebung mit Schwankungen von weniger als 1 nm. Das Gerät ist mit einer fortgeschrittenen x, y, z Bewegungssteuerungsmaschine für eine präzise Bewegung des Substrats ausgestattet. Es verwendet einen Präzisionslinearmotor, der eine schnelle und genaue Bühnenbewegung ermöglicht. Die Kombination aus hohem Durchsatz, hoher Auflösung und hoher Genauigkeit ermöglicht dem Werkzeug einen Durchsatz von bis zu 40 Wafern pro Stunde. Ebenfalls in das Asset integriert ist ein integriertes Wafer-Handling-Modell. Dies automatisiert den herkömmlichen Substratbeladungsprozess, um die Komplexität zu reduzieren und die Zykluszeit zu erhöhen. Der Lader und der Entlader verwenden ein gelenkiges Armdesign, um die Substratposition beizubehalten und die Prozesszeit zu optimieren. Die Kombination aus Automatisierung und Präzisionsbewegungssteuerung ermöglicht es dem Gerät, einheitliche Abbildungs- und Bearbeitungszeiten zu erzielen. Um die Funktionen des Systems weiter zu erhöhen, ist ASML PAS 2500/40 mit einer Vielzahl von optionalen Funktionen ausgestattet. Die Software-Suite ist in der Lage, für eine breite Palette von Substraten unterzubringen, sowie für benutzerdefinierte Prozesse und Rezepte zu ermöglichen. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer Vielzahl von Prozesshardware kompatibel, wie Spinnspültrockner, saubere Module und Schlitzlampensysteme. PAS 2500/40 ist ein hocheffizienter und anpassbarer Wafer-Stepper. Es kombiniert präzise Bewegungssteuerung, Dual-Laser-Bildgebung, automatisierte Wafer-Handhabung und eine robuste Software-Suite, um die bestmögliche Bildgebung und Prozesssteuerung zu bieten. Mit seinem hohen Durchsatz, der fortschrittlichen Bildgebungstechnologie und der Kompatibilität mit einer Vielzahl von Prozesshardware ist PAS 2500/40 eine ideale Lösung für jeden Bedarf an Halbleiterverarbeitung.
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