Gebraucht ASML PAS 2500 / 40 #9010549 zu verkaufen

ASML PAS 2500 / 40 ist ein Zwei-Balken-Schritt und Scanmaschine, die hohe Genauigkeit und hohen Durchfluss für Volumensubmikronfotolithographieanwendungen bietet. ASML PAS 2500/40 umfasst zwei unabhängige Module, den Scanner und die Quelle. Der Scanner ist das Hauptsteuermodul und umfasst einen Vollfeld-Quellmaskenscanner, einen Einfallssteuerwinkel, ein CoaXPress-Kommunikationsprotokoll und einen Controller zur Synchronisation der Datenpfade und -bewegungen. In der Zwischenzeit besteht das Source-Modul aus einer 40W gepulsten Laserlichtquelle, einem polarisierten Lichtabgabesystem, einem Wellenlängenmonitor und einem Gittermonitor, um sicherzustellen, dass jedes Mal genaue Belichtungen erzielt werden. Mit diesen beiden Modulen eignet sich PAS 2500/40 gut zur Verbesserung der Effizienz und Genauigkeit des Wafer-Scannings. Darüber hinaus verfügt PAS 2500/40 über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI), mit der Benutzer das Gerät problemlos über das Touchpanel-Display steuern können. Darüber hinaus nutzt ASML PAS 2500/40 eine hochauflösende Scanmaschine namens SDF (Sequential Deflection Field Mode), die Platzierungsfehler bei Weitwinkelbelichtungen reduzieren und Verzerrungen bei langen Linien reduzieren kann. Darüber hinaus ist ASML PAS 2500/40 ein Vollfeld-Stepper, so dass er bis zu 4000 programmierbare Strahlen bereitstellen kann, die die Abbildung von hochauflösenden Schaltkreisen mit Leichtigkeit ermöglichen. PAS 2500/40 bietet eine erweiterte Auflösung, überlegene Fokustiefe und präzise Stufenbewegungssteuerung. Seine hohe Genauigkeit wird durch eine Kombination von Präzisions-Linear- und Winkelmessungen wie Encoder-Tracking und optischen Messtechnik-Werkzeugen erreicht. Außerdem ist das Werkzeug so konzipiert, dass es geringe Aberrationen und geringe Geräusche aufweist und eine überlegene Bildgebung und Fotobeständigkeit gewährleistet. Schließlich kommt PAS 2500/40 mit einer Vielzahl von benutzerfreundlichen Funktionen, wie automatische Wafer-Erkennung, Wafer-Identifikationscodes, und on-the-fly-Programmierung von Parametern. Dadurch ist dieser Wafer-Stepper eine der besten Lösungen für High-End-Photolithographie-Anforderungen. Darüber hinaus bietet das Asset eine einfache Überwachung mit LED-Anzeigen und Konsistenzprüfung und garantiert überlegene, genaue Prozesse für jede Anwendung.