Gebraucht ASML PAS 2500 / 40 #9193197 zu verkaufen

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Hersteller
ASML
Modell
PAS 2500 / 40
ID: 9193197
Stepper.
ASML PAS 2500/40 ist ein auf Nexprecis basierender Wafer-Stepper, der speziell für die Halbleiterwaferbearbeitung entwickelt wurde. Es verfügt über eine vollständig integrierte Plattform mit einer Kombination aus angewandter Physik, fortschrittlicher Optik und Nanotechnologie, die die Gesamtprozessleistung und den verbesserten Ertrag unterstützt. ASML PAS 2500/40 integriert ein rotierendes Membrandesign, ein Erfassungssystem mit einer Abtastlänge von bis zu 40 mm und einen ultraschnellen optischen 50 mHz Beschleunigungsregler. Es ist mit modernster Software und integrierter Intelligenz ausgestattet und ermöglicht eine Hochgeschwindigkeits-Waferbearbeitung mit hoher Präzision. Das integrierte Steuerungs- und Softwaresystem bietet überlegene Genauigkeit im Waferbetrieb, reduziert Ausfallzeiten und erhöht den Prozessdurchsatz. Die Nexprecis-Plattform bietet einen kontinuierlichen Scanvorgang und eine Dosiskorrektur von 0,2 nm, was eine höhere Ausbeute und Genauigkeit in der Halbleiterverarbeitung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das System über einen integrierten Prozessregler zur präzisen Temperatur- und Belichtungsregelung, der zuverlässige Photolithographieergebnisse gewährleistet. PAS 2500/40 Ultra-Low-Thermal-Profile, Low-Stress-Optik bietet überlegene Overlay-Steuerung und verbesserte Bildgebungsfunktionen, während mehrere Belichtungsmodi eine schnelle Wafer-Übertragung gewährleisten. Die eingebauten Hochtemperatur-Scans ermöglichen eine flache Trench Isolation (STI) -Verarbeitung. PAS 2500/40 bietet auch verbesserte Leistung bei Verwendung in einer Prozessumgebung. Es ermöglicht Hochgeschwindigkeitsbilder mit bis zu 5 Belichtungen pro Sekunde und ermöglicht einen höheren Durchsatz bei gleicher Optik. Die verbesserten Verarbeitungsfunktionen bieten eine höhere Kontrolle und Präzision für fortschrittliche Lithographie- und Prozesslösungen. ASML PAS 2500/40 ist ein äußerst zuverlässiges, kostengünstiges und vielseitiges Waferbearbeitungswerkzeug, das speziell auf die Anforderungen der Halbleiterhersteller zugeschnitten ist. Es wurde entwickelt, um hoch konfigurierbar zu sein und verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche und Touchscreen-Steuerung, die es einfach zu bedienen und die Prozessleistung zu maximieren.
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