Gebraucht ASML PAS 2500 / 40 #9277550 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9277550
Wafergröße: 6"
Wafer stepper, 6"
Reticle masking:
(4) Independent blades
Full field of travel
Alignment system:
Dual automatic through-the-lens
Diffraction grating marks
Reticle alignment system
Illumination system:
Elliptical mirror
Fly's eye integrator
Position control:
Three-axis HP laser interferometer system
1988 vintage.
ASML PAS 2500/40 ist ein fortschrittliches Halbleiterlithographiewerkzeug, perfekt für die Herstellung von Großserien und die Verarbeitung von großen Wafern. Es nutzt fortschrittliche Scantechnologien, einschließlich Parallelscan und Festmaskenverzögerung, um präzise und konsistente Drucke mit minimalen Kantenverzerrungen zu gewährleisten. Im Herzen des 2500/40 befindet sich eine fortschrittliche kohärente bildgebende Ausrüstung mit einem 13,3 Zoll quadratischen Sichtfeld. Dieses Abbildungssystem enthält zwei lineare Polarisationswinkel, vier Abtastmodi und einen Quadranten-Teilungsmodus für verbesserte Auflösung. Diese bildgebende Einheit liefert eine maximale Auflösung von zwei Mikrometern - perfekt für große Werkzeuge. ASML PAS 2500/40 ist in der Lage, bis zu 12 Prüfstellen pro 6-Zoll-Wafer und bis zu 10 Spots pro Sekunde zu produzieren. Es verfügt auch über eine automatische Option zum Scannen über mehrere Sichtfelder und Wafer. Dadurch wird eine genaue Inspektion und Bedruckung von großvolumigen Wafern gewährleistet. Im Vergleich zu früheren Modellen bietet die 2500/40 eine verbesserte Schärfentiefe und bis zu 4x schnellere Belichtungszeiten. Der Stepper ist mit einer verbesserten Stromversorgung ausgestattet und bietet stabile und genaue Belichtungsdosen. Zwei fortschrittliche Musterverfolgungssysteme ermöglichen eine präzise Ausrichtung der Proben, reduzieren Fehlabdrücke und erhöhen die Gesamtausbeute. Darüber hinaus kann der 2500/40 mit einer ausgeklügelten Steuerungssoftware für eine einfache Maschinenverwaltung und -bearbeitung integriert werden. In Bezug auf Integration und Wartung ist PAS 2500/40 recht benutzerfreundlich. Der Stepper verfügt über ein Modulwerkzeug, das einen einfachen Zugriff auf Teile und Komponenten ermöglicht. Die gesamte Anlage kann in nur 12 Minuten eingerichtet, kalibriert und betrieben werden. Eine umfassende Diagnoseserie sorgt für Leistungsstabilität und Ausgangszuverlässigkeit. All-in-all, PAS 2500/40 ist ein leistungsstarker, hochvolumiger Lithographie-Stepper, der für industrielle Fertigungsbetriebe entwickelt wurde. Es ist mit einer breiten Palette fortschrittlicher Technologien ausgestattet, wie einem hochauflösenden Bildgebungsmodell, automatisierten Musterverfolgungssystemen und fortschrittlicher Stromversorgung. Und mit einer intuitiven Steuerungssoftware und einer schnellen und einfachen Installation ist die 2500/40 eine ideale Lösung für alle großen Lithographie-Anforderungen.
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