Gebraucht ASML PAS 2500 / 40 #9356981 zu verkaufen

ASML PAS 2500 / 40
Hersteller
ASML
Modell
PAS 2500 / 40
ID: 9356981
Wafergröße: 5"
Steppers, 5".
ASML PAS 2500/40 ist ein hochmodernes, computergesteuertes Wafer-Schrittgerät. ASML PAS 2500/40 ist in der Lage, hochauflösende Bilder über eine breite Palette von Wafergrößen von 2-5 Zoll Durchmesser zu erzeugen. Das System verfügt über einen modularen Aufbau, der eine einfache Einrichtung und Neukonfiguration des Geräts ermöglicht, so dass der Benutzer eine optimale Leistung und einen maximalen Durchsatz erzielen kann. PAS 2500/40 umfasst eine hochpräzise, thermisch optimierte Linearantriebsstufe, die eine einzigartige, patentierte, laserbasierte Active Path Compensation (APC) -Maschine verwendet. Dieses fortschrittliche APC-Werkzeug kompensiert die Unterschiede in der Wafertopographie, indem es die Laserlichtintensität an die topographischen Unterschiede anpasst. Dadurch kann der Anwender eine äußerst genaue Ausrichtung der optischen Komponenten auf dem Wafer erreichen. Darüber hinaus verfügt PAS 2500/40 über einen vollständig geschlossenen Regelkreis, der eine vollständige Rückmeldung der Positions- und Belichtungsparameter in Echtzeit ermöglicht. ASML PAS 2500/40 bietet auch mehrere erweiterte bildgebende Funktionen, wie Bildstabilisierung, Feldkrümmungskorrektur und eine Auswahl verschiedener Belichtungsmodi. Es enthält auch ein effizientes Differentialausrichtungsmodell (DAS), das manuelle Fokuseinstellungen überflüssig macht. Darüber hinaus verfügt ASML PAS 2500/40 über eine optionale hochgenaue Overlay-Fähigkeit, die eine hochwertige Overlay-Anpassung der optischen Muster auf dem Wafer ermöglicht. PAS 2500/40 nutzt ein fortschrittliches optisches Design, das die Hauptoptik und die Fast- (Attenuator) Linsen in der gleichen Ausrüstung kombiniert. Das Ergebnis ist eine verbesserte Auflösung und geringere Verzerrung. Darüber hinaus bietet das System auch eine umfangreiche Bibliothek von Einstellungen für eine Vielzahl von verschiedenen Schichten. Darüber hinaus bietet ein umfangreiches Sicherheitsfunktionsset einen hervorragenden Schutz für den Benutzer und das Gerät. Zusammenfassend lässt sich sagen, dass PAS 2500/40 ein fortschrittliches Design, hochpräzise Komponenten und hervorragende Bildgebungsfunktionen aufweist. Es bietet Flexibilität, Präzision und Bildgenauigkeit und ist somit eine ausgezeichnete Wahl für Wafer-Stepper-Systeme.
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