Gebraucht ASML PAS 5000 / 1150C #293817888 zu verkaufen
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ID: 293817888
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.50-0.75
Resolution: 90 nm
DCO: 20
Throughput (WPH): >135.
ASML PAS 5000/ 1150C ist ein leistungsfähiger Wafer-Stepper, der eine entscheidende Rolle im Halbleiterherstellungsprozess spielt. Es ist eine anspruchsvolle Lithographie-Ausrüstung, die für die Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs) auf Halbleiterscheiben entwickelt wurde und eine präzise Strukturierung von Merkmalen mit Submikron-Auflösung ermöglicht. Dieses fortschrittliche Tool bietet modernste Technologien und Fähigkeiten, um die anspruchsvollen Anforderungen der führenden Halbleiterherstellungsprozesse zu erfüllen. PAS 5000/ 1150C verfügt über ein hochmodernes Projektionsobjektivsystem, das die genaue Abbildung von Mustern auf die Oberfläche des Wafers ermöglicht. Diese Linseneinheit ist eine kritische Komponente des Steppers, da sie Auflösung, Fokustiefe und Überlagerungsgenauigkeit des Musterprozesses bestimmt. Durch den Einsatz hochwertiger Optik und Präzisionsausrichtmechanismen wird sichergestellt, dass der Stepper die für fortgeschrittene Halbleiterbauelemente erforderlichen engen Toleranzen erreichen kann. Eine der wichtigsten Funktionen von ASML PAS 5000/ 1150C ist seine Fähigkeit, hochauflösende Musterungen mit ausgezeichneter Overlay-Genauigkeit bereitzustellen. Der Stepper ist in der Lage, Submikron-Merkmale mit außergewöhnlicher Präzision zu produzieren, so dass komplexe IC-Designs mit engen Steigungsanforderungen hergestellt werden können. Diese Auflösung ist für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente mit kleineren Formfaktoren, höherer Leistung und erhöhter Funktionalität unerlässlich. Zusätzlich zu seinen Auflösungsfunktionen bietet PAS 5000/ 1150C hervorragenden Durchsatz und Produktivität für Produktionsumgebungen mit hohem Produktionsvolumen. Der Stepper ist mit fortschrittlichen Automatisierungsfunktionen wie Waferausrichtung, Belichtungssteuerung und Retikle-Handling ausgestattet, die den Strukturierungsprozess optimieren und Zykluszeiten minimieren. Dies ermöglicht es Halbleiterherstellern, hohe Erträge und eine kostengünstige Produktion von ICs zu erzielen und gleichzeitig hohe Qualität und Konsistenz zu erhalten. ASML PAS 5000/ 1150C umfasst auch fortschrittliche Bildgebungs- und Ausrichtungstechnologien, um optimale Musterergebnisse zu gewährleisten. Der Stepper nutzt fortschrittliche Beleuchtungsquellen, wie tiefe ultraviolette (DUV) und extreme ultraviolette (EUV) Lichtquellen, um die erforderliche Auflösung und den Kontrast für die Strukturierung komplexer IC-Designs zu erreichen. Die Maschine integriert auch anspruchsvolle Ausrichtungssysteme, wie laserbasierte Ausrichtungssensoren und Bühnenpositionierungssysteme, um eine genaue Überlagerung mehrerer Musterschichten zu gewährleisten. Darüber hinaus ist PAS 5000/ 1150C mit einer modularen Architektur konzipiert, die eine einfache Integration zusätzlicher Prozessmodule und Upgrades ermöglicht. Diese Skalierbarkeit ermöglicht es Halbleiterherstellern, das Werkzeug an sich entwickelnde Technologieanforderungen anzupassen und künftige Prozessherausforderungen anzugehen. Der Stepper kann mit mehreren Retikelstufen, Waferstufen und Ausrichtungssystemen konfiguriert werden, um spezifische Prozessanforderungen zu erfüllen und die Flexibilität in der Fertigung zu gewährleisten. Insgesamt ist ASML PAS 5000/ 1150C ein modernster Wafer-Stepper, der außergewöhnliche Auflösung, Overlay-Genauigkeit, Durchsatz und Flexibilität für fortschrittliche Halbleiterherstellungsprozesse bietet. Die fortschrittliche optische Ausstattung, die Automatisierungsfunktionen und das modulare Design machen es zu einem idealen Werkzeug für die Herstellung von ICs der nächsten Generation mit überlegener Leistung und Funktionalität. Mit seinen hochmodernen Fähigkeiten ist PAS 5000/ 1150C ein Schlüsselfaktor für die technologischen Fortschritte und Innovationen der Halbleiterindustrie bei Geräten von mobiler Elektronik bis hin zu Hochleistungsrechnern.
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