Gebraucht ASML PAS 5000 / 50 #293621670 zu verkaufen

ASML PAS 5000/50 ist eine hochpräzise Wafer-Stufenschale des niederländischen Unternehmens ASML Holdings NV. Der Stepper ist eine Vollfeld-Scanning-Ausrüstung für die Verarbeitung von großen und kleinen Substraten, einschließlich Silizium-Wafern, organischen Substraten und optischen Glasscheiben. Es ermöglicht die Erstellung von Präzisionsmikroskalierungsmerkmalen mit einer Mindestfunktionsgröße von 0,15 μ m (1,5 nm). ASML PAS 5000/50 basiert auf einer robusten mechanischen Konstruktion, die Laser und Optik auf der Unterstage konzentriert. Dieses anspruchsvolle System ermöglicht es der Maschine, das Werkstück mit einem programmierten Bild zu scannen und zu belichten. Der Stepper ist in der Lage, transparente Substrate zu handhaben, von Siliziumscheiben bis zu Substraten bis zu 15,75-Zoll-Durchmesser. Der Stepper besteht aus drei Schlüsselabschnitten, die ein Abtasttisch, eine Beleuchtungseinheit und eine optische Maschine sind. Der Abtasttisch besteht aus einer zweidimensionalen Anordnung von Elektromagneten und zwei X-Y-Tischen zur Wafer-Positionierung. Die elektromagnetischen Spulen dienen zum Antrieb der beiden X-Y-Tische und bieten eine maximale Verschiebung von 80mm (3,14 Zoll). Das Beleuchtungswerkzeug besteht aus einem 80 W UV-Laser, einem optionalen 12 W UV-Laser, einem verformbaren Spiegelkorrektor und einer optischen Anordnung mit hochpräzisen Linsen. Die Hochgeschwindigkeits-Laser können mit einer Wiederholrate von bis zu 420 Hz scannen, was eine Zeilenbelichtungszeit von 0,15 Sekunden (10 ms) ermöglicht. Der Stepper ist auch in der Lage, Aberrationen über den gemusterten Bereich zu erkennen und zu korrigieren und die Auswirkungen von Fokusvariationen zu minimieren. Das optische Asset des PAS 5000/50 verfügt über eine Reihe von Objektiven mit kurzer und langer Brennweite sowie einen doppelt telezentrischen Korrektor. Die Objektive wurden entwickelt, um Aberrationen im gesamten Sichtfeld zu reduzieren und gleichzeitig eine beste Bildfleckengröße von 0,6 μ m bis 6 μ m zu erreichen. Der Stepper ist auch mit einer Reihe von Kameras für die Bildgebung und Ausrichtung ausgestattet. PAS 5000/50 ist ein vielseitiges Werkzeug für verschiedene erweiterte Mikroskopieanwendungen. Es ist eine zuverlässige Wahl für Anwender, die hochpräzise gemusterte Substrate für die Herstellung von ICs, Displays und Optik herstellen müssen. Der Stepper ist zuverlässig, effizient und bietet effektive Lösungen für eine Vielzahl von Aufgaben von Forschung und Entwicklung bis hin zur Serienfertigung.