Gebraucht ASML PAS 5000 / 50 #293817883 zu verkaufen

ASML PAS 5000 / 50
Hersteller
ASML
Modell
PAS 5000 / 50
ID: 293817883
Stepper Numerical Aperture (NA): 0.48 Resolution: 500 nm DCO: 125 Throughput (WPH): 50.
ASML PAS 5000/50 ist ein leistungsstarker, roboterartiger Wafer-Stepper, der zur Herstellung individueller, extrem präziser Halbleiterbauelemente aus Siliziumplatten verwendet wird. Es besteht aus einer Ausrüstung von Roboterarmen, die Wafer und Substrate durch mehrere Vakuumstufen bewegen, während sie einem bildgebenden Laserstrahl ausgesetzt sind. Herzstück des Systems ist eine Step-and-Scan-Plattform, die ein Muster auf einer bildgebenden Linse abtastet und den Weg des Elektronenstrahls in einem regelmäßigen Muster verfolgt. Dieses Muster wird auf die Oberfläche des Wafers projiziert und mehrfach genau gescannt, um ein fein detailliertes Bild zu erzeugen. Um die genaue Bewegung und Verfolgung des Wafers zu unterstützen, enthält ASML PAS 5000/50 eine Hochetikettierungseinheit, die das Ziel während jedes Schritts und Scans genau verfolgt. Dies ermöglicht eine präzise Positionierung und Einstellung des Wafers, was eine hohe Wiederholbarkeit im Herstellungsprozess ermöglicht. PAS 5000/50 verfügt zudem über eine optische Bildverarbeitungsmaschine, die eine computergestützte Inspektion von Drahtgeräten und Schaltungen auf der Waferoberfläche ermöglicht. Dies ermöglicht eine schnelle und einfache Fehlerbehebung von Teilen und Komponenten, die mit bloßem Auge nicht zu sehen sind, und trägt dazu bei, dass Teile mit hoher Genauigkeit hergestellt werden. Darüber hinaus ist der Stepper mit einem digitalen Korrekturwerkzeug ausgestattet, das eine empfindliche Ausrichtung und hochpräzise Bearbeitungsfunktionen für die Bewegungen des Steppers bietet. Dies ermöglicht eine höhere Genauigkeit des bildgebenden Laserstrahls, der auf die Waferoberfläche projiziert wird und gewährleistet, dass jedes Bauteil der zugehörigen CAD-Zeichnung treu bleibt. Schließlich ist PAS 5000/50 sehr kompatibel mit anderen Systemen, wie Dünnschichtmesssystemen. Auf diese Weise kann der Bediener die physikalischen Eigenschaften von Dünnschichtbeschichtungen auf der Waferoberfläche messen, inspizieren und anpassen. Dies trägt dazu bei, höchste Produktionseffizienz und Qualität zu gewährleisten. Abschließend ist ASML PAS 5000/50 ein fortschrittlicher Roboterscheibenstepper, der speziell für die Herstellung komplizierter Halbleiterbauelemente entwickelt wurde. Die fortschrittlichen Scan-, Bildgebungs- und Positioniersysteme sorgen für Genauigkeit und Wiederholbarkeit im Produktionsprozess und ermöglichen die Herstellung extrem präziser Komponenten.
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