Gebraucht ASML PAS 5000 / 50 #9046375 zu verkaufen

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Hersteller
ASML
Modell
PAS 5000 / 50
ID: 9046375
Stepper / scanner, 0.50um i-line, 3"-6" Fully automated wafer handling system 2" with holders capable.
ASML PAS 5000/50 ist ein hochmoderner Wafer-Stepper, der den Anforderungen der Serienproduktion gerecht wird. Dieses Gerät ist in der Lage, kritische Schichten von Mikroschaltungen auf Halbleiterscheiben zu strukturieren und ist ideal für die Herstellung moderner digitaler Technologie. ASML PAS 5000/50 ist eine optimierte Lithographielösung, die hochauflösende Objektive, fortschrittliche Bildgebungssysteme und ausgefeilte Software-Algorithmen verwendet, um Wafer genau zu mustern. Die Ausrüstung ist flexibel genug, um sowohl Einzelbelichtungs- als auch Mehrfachbelichtungsoperationen in einer Vielzahl von Auflösungen zu unterstützen. Dies wird durch eine hohe Durchsatzproduktionsfähigkeit und minimale Maschinenstillstandszeiten ergänzt. Der PAS 5000/50 nutzt in seiner optischen Ausführung ein fortgeschrittenes Doppelfeldobjektiv mit einer numerischen Apertur NA = 0,22 und ein spiegelbasiertes Projektionsausrichtungssystem, das eine hochauflösende Bildgebung ermöglicht. Das Gerät verfügt außerdem über eine voll integrierte Fokus- und Belichtungssteuerungsmaschine sowie ein fortgeschrittenes Luftbildwerkzeug und eine Kamerakalibrierungssuite. Das PAS 5000/50 verfügt außerdem über einen Bewegungsarm und ein Wafer-Spannfutter, das die Platzierung des Wafers in der gewünschten Orientierung ermöglicht sowie eine genaue Zielausrichtung und Belichtung verschiedener Bereiche der integrierten Schaltung ermöglicht. Eine automatische Klemmvorrichtung kontert Drehzahlschwankungen und ermöglicht so eine zuverlässige Strukturierung der Wafer. ASML PAS 5000/50 wurde auch mit einer Reihe automatisierter Prozessüberwachungs- und Managementsysteme konzipiert. Dazu gehören ein fortschrittliches Modell zur Fehlerinspektion von Wafern sowie ein umfassendes Paket zur Prozessanalyse, das die schnelle Erkennung und Diagnose potenzieller Probleme ermöglicht. Schließlich kann ASML PAS 5000/50 automatisierte Produktionsrezepte ausführen, die so programmiert sind, dass höchste Qualitätsstandards im Herstellungsprozess erreicht werden. Dies ermöglicht möglichst geringe Fehlerquoten und eine schnellere Produktionsumlaufzeit. Zusammenfassend ist PAS 5000/50 ein hochentwickelter Wafer-Stepper, der den Anforderungen moderner Produktionsanforderungen gerecht wird. Mit seinem kundenspezifischen optischen Design, integrierter Belichtungs- und Fokussteuerung, automatisierten Rezepten, Prozessüberwachungs- und Managementsystemen ist dieses Gerät ideal für die Herstellung von Wafern mit hohem Volumen.
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