Gebraucht ASML PAS 5000 / 50 #9223541 zu verkaufen

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Hersteller
ASML
Modell
PAS 5000 / 50
ID: 9223541
Stepper.
ASML PAS 5000/50 ist eine fortschrittliche Wafer Stepper Maschine, die von der niederländischen ASML Holding N.V. entwickelt wurde. Die Maschine verwendet eine fortschrittliche zweistrahlige optische Ausrüstung, einen neuen Schwingungsdämpfer und ein aktualisiertes Linsensystem, um sich genau und präzise auf die gewünschten Stellen zu konzentrieren. ASML PAS 5000/50 ist für den Einsatz in der Waferbearbeitung für Halbleiter-, MEM- und NAND-Blitzgeräte konzipiert. Es ist mit einer 40/50 kV Elektronenquelle ausgestattet und für zuverlässige Bildgebung bei niedriger Energie ausgelegt. Es bietet hohen Durchsatz und ausgezeichnete Präzision durch eine Kombination aus fortschrittlicher Optik, Bewegungssteuerung und Feedback-Systemen. Die zweistrahlige optische Einheit des PAS 5000/50 bietet eine breite Palette von Belichtungswinkeln und Brennweiten, so dass die Maschine große Stempel abbilden kann, die mit herkömmlichen Steppern außer Fokus stehen können. Diese Kombination aus einem verbesserten optischen Werkzeug und einem neuen Schwingungsdämpfer ermöglicht es der Maschine, eine Vielzahl von Merkmalen präzise abzubilden. Die Kombination eines neuen Objektivs und Steuerungssysteme ermöglicht auch PAS 5000/50 eine Reihe von zusätzlichen Funktionen wie Auto-Positionierung und Auto-Wartung zu integrieren. Die automatische Positionierung ermöglicht eine automatische Bewegungssteuerung der Waferstufe durch Änderung der Brennweite und des Belichtungswinkels, so dass die gewünschte Stelle auf dem Wafer schnell und präzise ausgerichtet werden kann. Automatische Wartung bietet flexible und zuverlässige Inline-Bildgebung. ASML PAS 5000/50 kann eine Bildauflösung von bis zu 0,25 µm erreichen, während eine maximale Stufenbeschleunigung von 4,5 m/s ² einen hohen Durchsatz gewährleistet. Optionale Funktionen können dem Wafer-Stepper hinzugefügt werden, z. B. ein automatisiertes Wafer-Reinigungswerkzeug, ein automatisches Wafer-Chipping-Tool und eine BOZR-Option mit Superauflösung, um den Kontrast zu verbessern und Geräusche zu reduzieren. Insgesamt bietet ASML PAS 5000/50 eine fortschrittliche und zuverlässige Wafer-Bildgebungslösung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für Forscher und Hersteller, die nach einem fortschrittlichen und leistungsstarken Wafer-Stepper-Modell suchen.
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