Gebraucht ASML PAS 5000 / 55 #9241173 zu verkaufen

ASML PAS 5000/55 ist ein Wafer-Stepper, der für die Herstellung integrierter Schaltungen entwickelt wurde. Es wird für die Photolithographie verwendet, ein wichtiger Schritt im Halbleiterherstellungsprozess. Die Ausrüstung ist in der Lage, überlegene Mikrokomponenten-Erträge zu produzieren, und hat eine Standard-Produktionszykluszeit von etwas mehr als einer Minute. PAS 5000/55 verwendet einen programmierbaren Bewegungsregler, um zwei hochauflösende Projektoren schnell zu positionieren und auszurichten, die zusammen Bereiche eines Halbleiterwafers mit digital programmierten Mustern dem Licht aussetzen. Dieser Vorgang wird als Stepping bezeichnet und beinhaltet die Projektion mehrerer überlappender Belichtungsmuster mit Nanometergenauigkeit über die gesamte Halbleiterscheibe. Die patentierte PAS E + light Engine-Architektur ermöglicht es ASML PAS 5000/55, bis zu vier Belichtungsmuster im Onboard-Speicher zu speichern und über einen einzigen Belichtungszyklus nacheinander auszuführen. Dies reduziert den Zeitaufwand für die vollständige Durchführung des Photolithographie-Prozesses drastisch und ermöglicht es Herstellern, die Produktionskosten durch Erhöhung des Durchsatzes zu reduzieren. PAS 5000/55 ist auch in der Lage, mehrschichtige Belichtung, so dass die Herstellung von anspruchsvolleren integrierten Schaltungen. Das System ist in der Lage, Belichtungsoperationen in Feldern wie Flash-Speicher, Hochgeschwindigkeits-Logikschaltungen, DRAM und dynamischen wahlfreien Speicher. Die Größe der Wafer, die ASML PAS 5000/55 verarbeiten kann, variiert je nach Konfiguration der Einheit zwischen 6 und 12 Zoll im Durchmesser. Seine Spezifikationen umfassen auch eine Stufenlaufauflösung von 0,1 Nanometern, eine Stufenlaufgenauigkeit von 0,5 Prozent, eine Wiederholbarkeit von 0,2 Nanometern und eine Backlash Error Reduction (BER) von 0,7 Nanometern. PAS 5000/55 ist mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um sicherzustellen, dass sein Betrieb sicher ist und dass die von ihm hergestellten integrierten Schaltungen von höchster Qualität sind. Dazu gehören automatische Verriegelungssysteme, automatische Fokus- und Ausrichtungssysteme, kontinuierlich gemessene Markenpositions- und Inspektionsparameter sowie Auto-FPR-Rückkopplungssteuerung zur Aufrechterhaltung optimaler Abbildungsbedingungen. ASML PAS 5000/55 ist eine hochmoderne Maschine für die Halbleiterphotolithographie und eignet sich für den Einsatz in Fabriken, die überlegene Mikrobauteilausbeuten und eine verkürzte Produktionszeit erfordern. Es ist ein zuverlässiges und benutzerfreundliches Werkzeug und wird immer häufiger in der Halbleiterindustrie eingesetzt.