Gebraucht ASML PAS 5000 / 55A #293647910 zu verkaufen

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Hersteller
ASML
Modell
PAS 5000 / 55A
ID: 293647910
Stepper, parts system Missing parts: E Chuck P Chuck Cassette transfer.
ASML PAS 5000/ 55A ist ein immersionsoptischer Wafer-Stepper für die Halbleiterlithographie. Es ist in der Lage, Halbleiterbauelemente mit sub 225 nm Auflösung in 167 mm Belichtungsfelder zu produzieren. ASML PAS 5000/55 A wird von der ASML-Wafer-Technologie angetrieben, die es Anwendern ermöglicht, Zykluszeiten zu reduzieren, Waferbrüche zu reduzieren und Qualität und Produktivität zu verbessern. Die Gesamtabbildungsfläche des PAS 5000/55A beträgt etwa 16,3 Zoll (414 mm) im Durchmesser und kann Muster bei Auflösungen von bis zu 225 Nanometern erzeugen. Das System nutzt eine fortschrittliche computergesteuerte ultraviolette Beleuchtungsquelle, die eine breite Palette von Belichtungseinstellungen bietet, um unterschiedlichen Produktionsanforderungen gerecht zu werden. Das System bietet auch mehrere erweiterte Funktionen, die es dem Benutzer ermöglichen, hocheffiziente Belichtungen effizient zu produzieren. Intellitrace ist ein Merkmal des PAS 5000/55 A, das die Fokusposition jeder Belichtung automatisch anpasst. Die ProFlex-Funktion ermöglicht es dem Benutzer, eine Musterorientierung auf der Waferoberfläche zu programmieren, wodurch es einfach ist, größere Muster in kleinere Muster umzuwandeln. Mit dieser Maßnahme wird auch die Ausrichtung der Wafer verbessert. ASML PAS 5000/ 55A bietet Entwicklern auch eine benutzerfreundliche Programmierumgebung, die leicht zu erlernen und zu bedienen ist. Da dieses System mit einer Vielzahl von Computersprachen arbeitet, können Benutzer ihre eigenen Rezepte zum Mustern dieser Geräte programmieren. Die benutzerfreundliche grafische Oberfläche ermöglicht es dem Benutzer, schnell und einfach Korrekturen vorzunehmen, ohne dass ein spezieller Programmierer erforderlich ist. ASML PAS 5000/55 A zeichnet sich durch seine verbesserten Eigenschaften und Leistung als einer der leistungsstärksten und zuverlässigsten Waferstepper auf dem Markt aus. Seine hohe Auflösung, genaue Ausrichtung und Wiederholbarkeit machen es für eine Vielzahl von Produktionsanforderungen geeignet. Seine programmierbare Umgebung ermöglicht auch eine einfache Konvertierung von Datensätzen von größeren in kleinere Dimensionen. Es eignet sich sowohl für große als auch für kleine Projekte.
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