Gebraucht ASML PAS 5000 / 55A #293817881 zu verkaufen

ASML PAS 5000/ 55A ist ein Waferstepper zur Herstellung integrierter Schaltungen auf Halbleiterscheiben. Es ist eine High-End-Lithographie-Maschine, die eine' overscan '/' underscan '-Technik und eine breite Palette von erweiterten Funktionen verwendet, um eine optimale Bildqualität zu produzieren. ASML PAS 5000 / 55 A verwertet eine Stief-Und-Mehrmaligsteindruckverfahrenmethode, die eine feste Doppelachse inszenier-basierte Ausrüstung einschließt. Es zeigt einen Hochleistungspositionierungsmechanismus mit einer Gesamthöchstgeschwindigkeit von 500mm/s für die Großformatvorstandsanordnungsgenauigkeit. Es ist auch mit einem hochauflösenden optischen Positioniersystem ausgestattet, das eine Auflösung von 0,1 Mikrometern und eine Genauigkeit von 0,5 Mikrometern ermöglicht. PAS 5000/ 55A verfügt über eine Kopfplasma- oder Quad-Energiequelle, die ideal zum Maskieren und Belichten geeignet ist. Es verfügt über ein geringes thermisches Budget, um eine optimale Temperatur für den Belichtungsprozess zu gewährleisten. Die optische Overhead-Einheit verfügt auch über weitreichende einstellbare Parameter, die sowohl den Eingangs- als auch den Ausgangsleistungspegel einstellen, um die Auflösung und Gleichmäßigkeit der eingebetteten Schicht zu optimieren. Optisch ist der PAS 5000/55 A mit einer teleskopischen optischen Maschine und hochauflösenden Optik und Linsen ausgestattet, die bis zu 0,7 Mikrometer abbilden können. Es enthält auch ein Laser-Interferometer-Werkzeug für die Streifenmustermessung, die Verbesserung der inhärenten Linearität des Vermögenswertes und ermöglicht eine genaue Ausrichtung Targeting. ASML PAS 5000/ 55A besteht aus einer leistungsstarken Xenon-Beleuchtungsquelle und einem optimierten optischen Array. Es ist auch mit einem vielseitigen Maskenschreiber und automatisierten Belichtungsoptimierungssystemen ausgestattet. Schließlich ist ein intuitives Softwarepaket zur Steuerung und Verwaltung der Maschine im Lieferumfang enthalten. Insgesamt ist ASML PAS 5000/55 A ein effizienter, leistungsfähiger Wafer-Stepper mit modernster Lithographietechnologie und fortschrittlicher Modellarchitektur. Sie ist in der Lage, den Anforderungen fortschrittlicher Halbleiterprozesse gerecht zu werden und ist für die Herstellung führender integrierter Schaltungen unerlässlich.