Gebraucht ASML PAS 5000 / 55A #9315876 zu verkaufen

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Hersteller
ASML
Modell
PAS 5000 / 55A
ID: 9315876
Stepper.
ASML PAS 5000/ 55A ist ein Wafer-Stepper, der bei der Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs) wie DRAMs, Mikroprozessoren und Logikgeräten verwendet wird. Es ist eine hochpräzise bildgebende Ausrüstung, die einen Laserstrahl verwendet, um ein Muster auf einen Siliziumwafer zu übertragen. ASML PAS 5000/55 A besteht aus einer Optikstufe, einer Abtaststufe und einer Steuereinheit. Die Optikstufe enthält ein Beleuchtungssystem, eine Strahlteilereinheit und eine Projektionsoptikmaschine. Das Beleuchtungswerkzeug ist ein leistungsstarker Laser, der einen genau dimensionierten Fleck auf den Wafer erzeugen kann. Das strahlteilende Gut teilt das Licht aus dem Laser in zwei Strahlen, die dann zur Erzeugung eines Photomaskenmusters verwendet werden. Das Modell der Projektionsoptik vergrößert das Photomaskenmuster und richtet es genau auf den Wafer aus. Die Abtaststufe besteht aus X- und Y-Positionierstufen und einer Drehstufe. Die Stufen werden verwendet, um den Wafer bezüglich des von der Optikstufe erzeugten Musters zu bewegen. Schließlich dient die Steuereinheit zur genauen Steuerung des Betriebs des Waferstufen. PAS 5000/ 55A ist in der Lage, Muster auf Wafer mit einer Auflösung von 0,25 um zu drucken, was weit über der Präzision herkömmlicher Folientechniken liegt. Diese Funktion macht es ideal für die Produktion von High-Density-ICs wie DRAMs. Das Gerät hat auch eine hohe Durchsatzrate, so dass es Hunderte von ICs innerhalb einer kurzen Zeitspanne produzieren kann. Darüber hinaus ermöglicht die von PAS 5000/55 A geforderte niedrige Expositionsdosis es, sehr feine Eigenschaften auf einem Wafer zu erzeugen, ohne ihn zu beschädigen. ASML PAS 5000/ 55A ist ein zuverlässiger und präziser Wafer-Stepper, der häufig zur Herstellung von ICs eingesetzt wird. Es bietet hohe Präzision, hohen Durchsatz und niedrige Belichtungsdosis, die es zu einem wesentlichen Werkzeug für die Herstellung von ultra-high-density integrierten Schaltungen machen.
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