Gebraucht ASML PAS 5500 / 100 #293814116 zu verkaufen

ASML PAS 5500 / 100
Hersteller
ASML
Modell
PAS 5500 / 100
ID: 293814116
Wafergröße: 8"
Steppers, 8".
ASML PAS 5500/100 ist ein Top-of-the-Line-Wafer-Stepper für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Der Anfang der 1990er Jahre entwickelte ASML PAS 5500/100 bietet eine hochpräzise und kostengünstige Methode zur Strukturierung von Wafern - ein entscheidender Schritt bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen. PAS 5500/100 verfügt über ein Dual-Beleuchtung, 5,5 Zoll Sichtfeld mit einer 6,25 Zoll hohen numerischen Blende. Angetrieben von einem 50 kHz Argon-Ionen-Laser bietet dieser Stepper außergewöhnlich präzise Strukturierungsmöglichkeiten. Darüber hinaus liefert das patentierte ArF-Laser Direct Imprint (LDI) System des Geräts ein Hochleistungs-Umweltpaket mit 200 μ m Fokustiefe. PAS 5500/100 verfügt zudem über einen fortschrittlichen Wafer-Handhabungsmechanismus, der die präzise Ausrichtung von Waferoberflächen ermöglicht. Diese Funktion wird durch eine automatisierte Vorausrichteinheit weiter verbessert, die vorhandene Fehler auf dem Wafer genau lokalisieren kann. Eine linearmotorische Antriebsmaschine verringert ferner jede Fehlausrichtung zwischen Stufe und Verschluss. Darüber hinaus verfügt ASML PAS 5500/100 über ein erweitertes Programmierwerkzeug, das den Prozess der Musterung vereinfacht. Diese Ressource nutzt PC-basierte Modellsoftware, mit der Ingenieure komplizierte Konstruktionsänderungen mit minimalem Aufwand entwerfen und implementieren können. ASML PAS 5500/100 ist für einen extrem hohen Durchsatz mit einer maximalen Waferleistung von 100 Wafern pro Stunde ausgelegt. Diese Ausrüstung bietet auch eine außergewöhnlich hohe Geschwindigkeit von Stempel zu Stempel Durchschnitt mit einer Rate von 25-30 Sekunden pro Stempel. Insgesamt ist PAS 5500/100 ein unglaublich zuverlässiger und präziser Wafer-Stepper. Dieses System bietet eine unschlagbare Kombination aus hochpräzisen, kostengünstigen Komponenten und höchster Zuverlässigkeit. Mit PAS 5500/100 können Ingenieure sicher sein, dass ihre Wafer-Musteraufgaben mit minimalem Aufwand und maximaler Effizienz abgeschlossen werden.
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