Gebraucht ASML PAS 5500 / 100 #9045059 zu verkaufen

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Hersteller
ASML
Modell
PAS 5500 / 100
ID: 9045059
i-Line stepper Running noncritical layers Under OEM Service contract Currently installed 1994 vintage.
ASML PAS 5500/100 ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper für die Halbleiterindustrie. Diese Maschine ist in der Lage, die Oberfläche mehrerer Wafer gleichzeitig zu scannen, um ein präzises Bild zu erzeugen. Der Scanvorgang ist präzise und wiederholbar, so dass die Maschine kleine Gerätestrukturen mit minimalen Defekten schnell herstellen kann. Dieses Gerät ist mit motorisch angetriebenen x- und y-Achsen ausgestattet, die zur Positionierung des Waferfutters dienen. Es hat auch eine Objektivlinse, die in der Lage ist, z-Achsen-Scannen, so dass es einen vollen Wafer auch auf der unebenen Oberfläche des Wafers scannen. Die Scangröße der Maschine erreicht bis zu 7,8 mm oder 200 μ m, was ihr die Möglichkeit gibt, große Substrate sowie sehr kleine Geräte zu verarbeiten. Eindrucksvoll ist ASML PAS 5500/100 mit einer 25mW ArF-Laserquelle ausgestattet, die bei einer Wellenlänge von 193nm arbeitet. Dieser Laser verbindet die Macht sowohl tief ultravioletter Aussetzung als auch eines HochleistungsZ-Achsenscan-Prozesses, um schnelle, genaue Entwicklung anzubieten. Darüber hinaus kann es Wafer mit komplexen Mustern mit Leichtigkeit verarbeiten und abbilden - auch mit dünnen Linien und kurzen Abständen. Dieses System ist mit einem speziellen Belichtungssensor und Schnittstellensoftware entwickelt, um die Aberrationen der optischen Einheit zweiter Ordnung zu erkennen. Dadurch wird sichergestellt, dass die Maschine trotz schwacher Vibrationen des Substrats weiterhin mit hoher Genauigkeit arbeitet, so dass unregelmäßige Muster vermieden werden. Darüber hinaus wird jeder Schritt des Belichtungsprozesses in Echtzeit überwacht, so dass Sie auch nach Auftreten eines möglichen Schadens mit der Entwicklung fortfahren können. Um den Überblick über die Entwicklung zu behalten, ist das Bedienfeld der Maschine vollständig interaktiv. Sie können den Status der Wafer und die Scan-Daten direkt aus dem Panel anzeigen, das sogar mit einem Jog-Rad zur Änderung der Lichtquelle ausgestattet ist. Zusammenfassend ist PAS 5500/100 ein sehr zuverlässiger Wafer-Stepper, der hochgenaue und präzise Bilder erzeugen kann. Es verfügt über eine 25mW ArF-Laserquelle und eine Belichtungsüberwachungsmaschine für enge Kontrolle und Präzision, und es kommt mit einem interaktiven Bedienfeld für einfache Nachverfolgung. Alles in allem ist es die perfekte Maschine, um die besten Prozessergebnisse zu erzielen.
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