Gebraucht ASML PAS 5500 / 100 #9218991 zu verkaufen

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ASML PAS 5500 / 100
Verkauft
Hersteller
ASML
Modell
PAS 5500 / 100
ID: 9218991
Stepper, parts machine Body.
ASML PAS 5500/100 ist ein hochmoderner Wafer-Stepper, der von der Halbleiterausrüstungsfirma ASML gebaut wurde, um es Halbleiterherstellern zu ermöglichen, schnellere und effizientere Geräte zu produzieren. Die Maschine hat eine Vielzahl von Komponenten, die alle einzigartig entworfen sind, um die hohen Anforderungen an die fortschrittliche Chipherstellung zu erfüllen. ASML PAS 5500/100 verfügt über eine Ausrichtstufe, die aus einem zweiachsigen Linearantrieb, einem Kippantrieb, einer Spindel und optischen Encodern besteht, die die Position der Bühne mit großer Präzision messen. Diese Art der Präzision ermöglicht es der Maschine, ihre Position auf dem Wafer entsprechend den mikroskopischen Details des zu druckenden Musters automatisch einzustellen und so einen möglichst genauen Druck zu ermöglichen. Der Stepper umfasst auch eine Wafer-Handling-Ausrüstung, die entwickelt ist, um Wafer sicher und genau während des Produktionsprozesses zu transportieren. Dieses System besteht aus einer Waferkassette, einem Greifer, einem Spannfutter und zwei Be-/Entladerobotern, die jeweils sechs gepolsterte Vakuumarme aufweisen. Die Roboter und Arme werden von einer Computereinheit und Servomotoren gesteuert, um eine präzise Bewegung des Wafers während des Transports zu gewährleisten. Darüber hinaus verwendet PAS 5500/100 fortschrittliche Laserscan-Technologie, um die Belichtung des ultravioletten Lichts auf dem Wafer zu leiten, um mikroskopische Leitungen zu erstellen, die als Schaltungswege dienen. Dies geschieht durch eine 308 nm Laserlichtquelle, die Licht in Richtung einer Reihe von Spiegeln und Linsen emittiert, um seine Beleuchtung auf sehr kleine Ziele auf dem Wafer zu fokussieren. Die letzte Schlüsselkomponente des PAS 5500/100 ist seine Vision-Maschine. Das Vision-Tool verwendet zwei Kameras, eine, um ein Bild mit niedriger Auflösung und die andere ein Bild mit höherer Auflösung zu erfassen. Diese Zwei-Kamera-Anlage ermöglicht es der Maschine, die detaillierten mikroskopischen Muster auf dem Wafer genau zu erfassen und ist für die Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente unerlässlich. Insgesamt ist ASML PAS 5500/100 ein beeindruckender Wafer-Stepper, der eine Vielzahl von Komponenten aufweist, die zusammenarbeiten, um hochpräzise Belichtung von ultraviolettem Licht auf Halbleiterscheiben bereitzustellen. Seine fortschrittlichen Laserscanning, Zwei-Kamera-Vision-Modell und anspruchsvolle Wafer-Handling-Komponenten ermöglichen es, die kompliziertesten und detailliertesten mikroskopischen Muster zu schaffen, die für die Produktion von modernen Geräten wesentlich sind.
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