Gebraucht ASML PAS 5500 / 100C #293804502 zu verkaufen
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ID: 293804502
Weinlese: 1995
Stepper
DNS Wafer track, 8"
(2) Coater / (2) Developer system
1995 vintage.
ASML PAS 5500/100C ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der für die Herstellung integrierter Schaltungen entwickelt wurde. Dieser Wafer-Stepper hat eine hohe Durchsatzrate und Genauigkeit, die die Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente ermöglicht. Es ist in der Lage, bis zu 21.000 Werkzeuge pro Stunde zu verarbeiten und kann eine breite Palette von Wafergrößen von 25mm bis 200mm aufnehmen. ASML PAS5500/100C besteht aus fünf Hauptkomponenten. Die erste ist die Retikelstufe, eine Präzisionseinrichtung, die die Fotomaske hält, die das gewünschte Schaltungsmuster hält. Der zweite ist die Wafer- und Scanner-Baugruppe, ein Roboterarm, der den Wafer und die Fotomaske mit einer präzisen und unidirektionalen Geschwindigkeit übereinander bewegt. Die dritte Komponente ist die Projektionseinrichtung, die aus zahlreichen Linsen und Spiegeln besteht, die das Bild im exakt gewünschten Muster auf den Wafer projizieren. Die vierte Komponente ist das Ausrichtungssystem, das mittels einer Bildverarbeitungseinheit das Muster an den gewünschten Koordinaten erkennt und ausrichtet. Schließlich ist die fünfte Komponente die Rechenmaschine, die die Bilddaten verarbeitet, um das gewünschte Muster zu erzeugen. PAS 5500/100C ist mit mehreren Funktionen für verbesserte Leistung ausgestattet. Dazu gehören ein hochauflösendes Bildgebungswerkzeug, eine hohe Geschwindigkeit, geräuscharme Scanvorrichtungen und ein hochpräzises Ausrichtungsmodell. Die Wafer-Stufe ist in der Lage, die Mikrogenauigkeit auch bei hohen Geschwindigkeiten mit der integrierten automatischen Kalibrierung aufrechtzuerhalten. Die fortschrittliche Optik und das ausgeklügelte Rechensystem der Maschine ermöglichen auch einen höheren Durchsatz, eine verbesserte Genauigkeit und eine hochzuverlässige Produktion. PAS5500/100C ist auch eine hocheffiziente Maschine, da es in der Lage ist, mehrere Netze mit einem Scan zu verarbeiten. Dieses Verfahren wird als „Burst Scan“ bezeichnet und kann zu einer signifikant verbesserten Produktivität sowie geringeren Produktionskosten führen. Der Wafer-Stepper kann sich auch an eine Vielzahl unterschiedlicher Prozessanforderungen anpassen und bietet vielfältige Bearbeitungsmöglichkeiten. Insgesamt ist ASML PAS 5500/100C ein Hochleistungs-Wafer-Stepper mit hohem Durchsatz und Genauigkeit. Es hilft, Produktionszeiten zu reduzieren, die Genauigkeit und den Ertrag zu erhöhen und die Produktion hochwertiger Halbleiterbauelemente zu erleichtern. Das Gerät ist hochgradig konfigurierbar und kann eine Vielzahl von Wafergrößen und Prozessanforderungen erfüllen.
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