Gebraucht ASML PAS 5500 / 100C #293817877 zu verkaufen
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ID: 293817877
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.48-0.60
Resolution: 400 nm
DCO: 70
Throughput (WPH): 74.
ASML PAS 5500/100C ist ein Wafer-Stepper oder eine photolithographische Maschine, die für den Einsatz bei der Herstellung von Halbleiterchips entwickelt wurde. Seine Eigenschaften und Fähigkeiten machen es zu einer idealen Lösung für eine Vielzahl von fortschrittlichen Verarbeitungs- und Herstellungsanforderungen. ASML PAS5500/100C ist eine Schritt-und-Scan-Ausrüstung, die überlegene Präzision und Genauigkeit für Belichtung und Ausrichtung bietet und es ermöglicht, Produkte mit hoher Komplexität schnell und mit hoher Wiederholbarkeit zu produzieren. Das System ist mit einem maßgeschneiderten Objektiv ausgestattet, das Geschwindigkeiten von bis zu drei Metern pro Sekunde erreichen kann und sich auf eine Auflösung von 12 Nanometern konzentrieren kann. Darüber hinaus ist die Einheit in der Lage, Dosen von bis zu 40 Millijoule mit einer maximalen Feldgröße von 300 Millimetern zu belichten. PAS 5500/100C kann im Einzelmodulmodus oder als vollautomatische Maschine betrieben werden. Der Einzelmodul-Modus ermöglicht eine präzise Steuerung des gesamten Prozesses und gibt dem Anwender die Möglichkeit, bei Bedarf schnell Änderungen und Anpassungen vorzunehmen. Das automatisierte Werkzeug kann so programmiert werden, dass Einzelbelichtungen oder Mehrfachbelichtungen basierend auf dem Design des gewünschten Produkts ausgeführt werden. PAS5500/100C ist mit einem Multichannel-Vision-Asset und einer einzigartigen Dual-Gantry-Struktur ausgestattet, die zur Bilderkennung und digitalen Ausrichtung in der Lage ist. Dadurch wird sichergestellt, dass das Modell jede zu erzeugende Produktschicht genau ausrichten kann, was zu einer hohen Wiederholbarkeit und einer schnellen, zuverlässigen Chargenverarbeitung führt. Um die Vorteile von ASML PAS 5500/100C nutzen zu können, kann das Gerät mit einer Reihe von Optionen konfiguriert werden, darunter ASML FTH Front-End-Tool, das eine Schnittstelle zwischen ASML PAS5500/100C und den Back-End-Tools sowie erweiterte Softwarepakete für Datenanalyse, Überwachung und Steuerung bietet. PAS 5500/100C ist ein hochentwickeltes System, das für präzise und zuverlässige Produktionsergebnisse entwickelt wurde. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und maßgeschneiderten Objektiven ist es ideal für eine Reihe fortschrittlicher Halbleiterherstellungsanforderungen.
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