Gebraucht ASML PAS 5500 / 100D #9045382 zu verkaufen

ASML PAS 5500/ 100D ist ein hoch fortgeschrittenes Stück Wafer Stepper Produktionsausrüstung. Mit dieser hochpräzisen Maschine werden komplizierte Muster auf die Oberfläche von Mikrochip-Wafern geätzt. Es verwendet eine extrem genaue gespiegelte Optik, um einen Lichtstrahl auszubreiten, um Muster auf Substrate zu ätzen. Dieses Gerät gilt aufgrund seiner konsistenten Genauigkeit und Produktionsraten als „Arbeitstier“ der Produktionsanlagen. Herzstück von ASML PAS 5500/100D ist sein Scanner, der einen gekrümmten Spiegel mit vier bogenförmigen Spiegeln enthält. Diese Spiegel werden als „Facettenspiegel“ bezeichnet und ermöglichen es dem optischen System, komplexe Muster aus einer einzigen Punktquelle zu scannen. Die optische Einheit kann sowohl horizontal als auch vertikal scannen und kann sich mit einer Geschwindigkeit von 375mm/s bewegen. Die Optikmaschine ist auch temperaturgesteuert, was eine genaue und präzise Musterreplikation gewährleistet. PAS 5500/100 D ist für die Interaktion mit einer eigenen Software konzipiert, die es dem Benutzer ermöglicht, die Maschine auf drei Arten zu steuern. Der erste ist ein Echtzeit-Modus, in dem ein Bediener sowohl allgemeine als auch spezifische Variablen wie Belichtungszeit, Energie und Musterkomplexität auswählen und festlegen kann. Der zweite ist ein „Bulk“ -Modus, der es dem Benutzer ermöglicht, mehrere Wafer gleichzeitig zu verarbeiten, während der dritte ein „Batch“ -Modus ist, der es dem Benutzer ermöglicht, mehrere Aufträge gleichzeitig zu verarbeiten. PAS- 5500/100D verfügt über ein Inline-Messtechnik-Tool, mit dem der Benutzer die Genauigkeit seiner geätzten Muster überprüfen kann. Dieses Asset verwendet dasselbe optische Modell wie der Ätzprozess, um die Muster auf dem Material abzubilden und etwaige Abweichungen zu bestimmen, wenn sie gefunden werden. Weitere Merkmale von PAS 5500/ 100D sind auch Vakuum-Wafer-Handhabungssysteme, eine LED-Quelle, Hochspannungsnetzteile und hochdichte bandautomatisierte Klebeausrüstung, die die Herstellung moderner Wafer mit extrem feinen Linien und kleinen Features ermöglicht. Zusammenfassend ist ASML PAS 5500/100 D eine extrem fortschrittliche und präzise Wafer-Schrittmaschine, die bei der Herstellung von Mikrochip-Wafern eingesetzt wird. Seine anspruchsvolle, temperaturgeregelte optische Ausrüstung ermöglicht es, komplexe Muster von einem einzigen Punkt aus mit einer extrem hohen Genauigkeit zu scannen. Es verwendet auch eine Reihe von In-Line-Messtechnik-Systemen, um die Genauigkeit von geätzten Mustern und Vakuum-Wafer-Handhabungssystemen auf zusätzliche Effizienz zu überprüfen. Mit seinem robusten und zuverlässigen Design ist ASML PAS 5500/ 100D ein unschätzbares Werkzeug in jeder Waferproduktion.