Gebraucht ASML PAS 5500 / 100D #9075820 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9075820
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Stepper, 8"
HDD
Intensity data: 245 mW/cm2
Uniformity: 2.71% (2014.2.27)
Dose accuracy: 0.37 %
Repeatability: 0.37 % (2014.2.27)
Single machine overlay:
X: 21 nm
Y: 23 nm (2005.12.23)
Wafer stage accuracy:
X: 5 nm
Y: 10 nm (2005.12.23)
Wafer stage repeatability:
X: 4 nm
Y: 8 nm (2005.12.23)
1996 vintage.
ASML PAS 5500/ 100D ist ein hochmoderner Schritt- und Wiederholwaferstepper zur Herstellung in der Halbleiter-, Photonik- und Mikroelektronik-Fertigung. Dieses Gerät verfügt über eine effektive Feldfläche von 8-Zoll-Durchmesser-Wafern, die eine gleichmäßige Produktion auch auf kleinsten elektronischen Komponenten ermöglicht. ASML PAS- 5500/100D verwendet erweiterte 0,6 und 0,75 Mikron-Upgrades, die eine branchenführende Auflösung und eine 5fache Reduzierung des Overlay-Fehlers ermöglichen. Diese zuverlässige modernste Schritteigenschaftspräzisionsbewegung Bestandteile, einschließlich einer einzigartigen untersten Eindämmungsarchitektur des geschlossenen Regelkreises, um zu helfen, Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu sichern. PAS 5500/100 D beinhaltet auch eine proprietäre Sensorbaugruppe bestehend aus einem digitalen Trägheitssensor (DI), einem neigungskorrigierten Geschwindigkeitssensor (TCV) und XY-Geschwindigkeitssensoren, um eine präzise und automatisierte Steuerung seiner Prozesse zu ermöglichen. ASML PAS 5500/100 D verwendet ein fortschrittliches Helium-Neon (HeNe) Lasersystem. Es ermöglicht eine vollautomatische Wafer, um Muster Registrierung sowie präzise Muster Belichtung zu retikulieren. Die Lasereinheit HeNe ist effizient und an die Bedürfnisse jedes einzelnen Anwenders anpassbar, so dass der Anwender die Laserbelichtungsdosis, die Scangeschwindigkeit, die Laserintensität und den Scanbereich an die gewünschten Spezifikationen anpassen kann. Diese Maschine enthält auch Software-Upgrades, um die Benutzererfahrung weiter zu verbessern. Die Bildverarbeitungsalgorithmen definieren präzise Registrierungsmarken und lokalisieren präzise einzigartige Merkmale mit beispielloser Präzision. Die Software ist auch mit leistungsstarken Automatisierungswerkzeugen ausgestattet, die die Zykluszeit verbessern und Beschichtungsfehler verhindern sollen. Der patentierte Stepper der AX + -Reihe mit PAS 5500/ 100D verwendet fortschrittliche Overlay- und Bildverzerrungskorrekturmechanismen. Diese patentierte Technologie stellt sicher, dass die Belichtung des Wafers konsistent und genau ist. PAS 5500/100D ist der perfekte Stepper für die Serienfertigung in der Halbleiter-, Photonik- und Mikroelektronik-Industrie. Dank seines Laserwerkzeugs HeNe, patentierter Technologien und leistungsstarker Software liefert diese Ressource Ergebnisse mit beispielloser Genauigkeit und Wiederholbarkeit.
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