Gebraucht ASML PAS 5500 / 100D #9202567 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9202567
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
i-Line stepper, 8"
Process: Front end & back end
CPU Type: SPARC5
CM options:
Lens number: 7556500A
Lens type: 75
Field diameter: 31.1
ARMS/RMS: RMS
Chuck type: Zerodur
Athena: No
Parameter
Illumination:
22.0X22.0 mm (%): <2
Intensity: >900 (mw/cm²)
Lens distortion:
Red blue NCE (nm): 0.0001<X<78
Magnification (ppm): -3< x <3
Reticle table tilt Rx (µrad): -10<X<10
Reticle table tilt Ry (µrad): -10<X<10
Reticle table height (µm): -10<X<10
Focal:
Image tilt Rx (µrad): -5<X<5
image tilt Ry (µrad): -5<X<5
Focus height (µm): -0.8<X<-0.6
Overlay:
Machine overlay to /100C or /100D: X<120
Reference machine (nm): Y<120
FPD (µm): 0.40
AST (µm): 0.407
CIM Linked
1996 vintage.
ASML PAS 5500/ 100D ist ein Wafer-Stepper, der speziell für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen entwickelt wurde, einschließlich mikroelektronischer Fertigungsgeräte. Dieses Gerät bietet zusätzliche Genauigkeit und Präzision während der Produktion, so dass eine größere Automatisierung der Prozesse. Das Gerät ist mit einem langlebigen, hochwertigen Stahlkörper gebaut, der fertig ist, um überlegene Leistung während der Produktion zu bieten. Darüber hinaus ist es mit einer Vielzahl von mechanischen und elektronischen Funktionen ausgestattet, die überlegene Leistung bieten. Dazu gehört ein Scanner zur Steuerung von Strahl, Laser, Motoren und anderen Komponenten; eine integrierte Ausrichtungssteuereinrichtung; Waferposition; und einen Hebemechanismus zum Austauschen der Kassette. ASML PAS 5500/100D besteht aus drei Hauptkomponenten: dem Laser, dem Scanner und der Projektionsoptik. Das Lasermodul ist für die Erzeugung von Straßenbildung zuständig, mit der die notwendige Strukturierung auf dem Wafer durchgeführt wird. Der Scanner wird verwendet, um den Laserstrahl zu bewegen, um die gewünschten Straßenmuster zu erzeugen, und die Projektionsoptik wird verwendet, um die Qualität des projizierten Bildes zu optimieren. Um eine genaue Strukturierung zu gewährleisten, wird das Lasermodul mit einer hohen Auflösung und einem dynamischen Bereich gebaut, während der Scanner so gebaut ist, dass er einen hervorragenden Kontrast und komplizierte Muster erzeugt. Zusätzlich ist das Gerät mit einem patentierten Autotracking-System ausgestattet, das es der Maschine ermöglicht, den Laserstrahl automatisch entsprechend dem Wafermuster einzustellen. Dies ermöglicht eine schnellere und genauere Produktionszeit, wodurch die Automatisierung des Prozesses erhöht wird. Darüber hinaus ist PAS 5500/100 D so konzipiert, dass es eine verbesserte Maßgenauigkeit mittels einer ausgeklügelten Schrittkalibriereinheit bietet. Diese Maschine überwacht und passt den Aufbau von Belichtungsdosis und Überlagerungsgenauigkeit während der Belichtungssequenz an und bietet eine präzise Steuerung. Darüber hinaus ist es mit einem fortschrittlichen Reticle-Ersatzwerkzeug und einem cleveren Tray-Positionierungs-Asset ausgestattet, das Fehler bei der Positionierung der Wafer beseitigt und Ausfallzeiten auf ein Minimum reduziert. Insgesamt ist PAS 5500/100D ein hochpräziser Wafer-Stepper, der speziell für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen entwickelt und gebaut wurde. Es bietet eine Vielzahl von Funktionen, die es sehr effizient bei der Musterung und Belichtung machen, und seine Einbeziehung eines anspruchsvollen Autotracking-Modell macht es schneller und genauer als je zuvor.
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