Gebraucht ASML PAS 5500 / 1100 #293655010 zu verkaufen

ASML PAS 5500/1100 ist ein Bewegungssteuerungs- und Messtechnikwerkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist eine Produktionsklasse step-scan Werkzeug, das mit einem Substrat pro Prozess Stief-Und-Mehrmaligsteindruckverfahrensystem ausgestattet ist. Der PAS 5500/1100 verwendet eine Quarzhalogenlampe mit einer Energieabgabe von 135W zum Drucken auf einem Wafer. Die Lampe arbeitet im UV-Bereich und bietet optimale Lithographiefähigkeiten. Die Wafer werden mit linearen Galvanomotoren gescannt, die eine extrem hohe Präzision aufweisen und ein genaues und konsistentes Druckmuster auf dem Substrat bieten. Um eine konstruktionsgetreue Gestaltung des Druckmusters zu gewährleisten, ist der PAS 5500/1100 auch mit einem Laserinterferometer ausgestattet, das die Abweichung des Druckmusters von festgelegten Kriterien misst. Der PAS 5500/1100 bietet darüber hinaus eine spezialisierte Ausrichtungsmöglichkeit, die es ermöglicht, das Muster über verschiedene Wafertypen genau auszurichten. Möglich wird dies durch eine Kombination aus Kontrastabbildung, fokussierender Dämpfung und Seitenwandwinkelbestimmung. Die Musterüberlappung wird durch die Verwendung von Ausrichtmarken, die sowohl für die Messung als auch für die Ausrichtung als treuhänderische Bezugspunkte fungieren, noch verstärkt. Intensitätsmessungen, Kontrastabbildungen und Fiduziale werden bei der Ausrichtung kontinuierlich überprüft. Mit seinem ultraschnellen Durchsatz bietet der PAS 5500/1100 auch eine ideale Plattform für Advanced Process Control. Das System kann Prozessschwankungen erkennen und Warnsignale ausgeben, lange bevor der Prozessschritt abgeschlossen ist. Auf diese Weise können Ingenieure Korrekturmaßnahmen ergreifen, bevor nicht konforme Wafer hergestellt werden. Schließlich ist der PAS 5500/1100 unter Berücksichtigung niedriger Gesamtbetriebskosten konzipiert. Dies wird durch seine Fähigkeit erreicht, die Freilaufzeit zwischen Prozessschritten zu reduzieren, die Anzahl der Wartungsvorgänge zu reduzieren und die Substrattransferzeit durch den Wafer-Stepper zu optimieren. In Kombination mit seiner kompakten Größe, der hohen Präzision und dem Nonstop-Betrieb ist der PAS 5500/1100 eine ideale Lösung für die Produktion von hochvolumigen Halbleiterbauelementen.