Gebraucht ASML PAS 5500 / 125E #9188743 zu verkaufen

ASML PAS 5500/ 125E ist eine hochwertige kommerzielle Stufen- und Scanausrüstung der 6. Generation, die von ASML, einem Marktführer für Lithographiewerkzeuge und -dienstleistungen, entwickelt wurde. Dieses System integriert das Beste aus beiden Welten - die fortschrittliche Stufentechnologie der 6. Generation, die außergewöhnliche Bildgebungsleistung, Lithographiesteuerung und Präzisionsausrichtung verspricht, und das PAS (PAS 5500/ 125E) -Scanmodul der früheren Generationen, das einen hohen Durchsatz und eine hohe Genauigkeit ermöglicht. ASML PAS 5500/ 125E verfügt über einen Kryptonfluorid (KrF) Excimerlaser, der einen Lichtbogen bis 85 Millimeter (mm) Durchmesser und eine Wellenlänge von 248 Nanometern (nm) erzeugen kann. Dieser Laser erzeugt einen fein kollimierten Lichtstrahl, der in der Lage ist, eine große Fläche zu beleuchten, so dass er ideal für Anwendungen ist, die Präzision und Genauigkeit erfordern, wie die Herstellung von Mikrochips. Das Gerät verfügt über die fortschrittlichste Technologie der 6. Generation, einschließlich Advanced Dose Mapping (DMA) und Advanced Resist Control (RCA), die für die Steuerung der Belichtungsdosis des Fotolacks sowie für die Verwaltung der Auflösung und des Kontrasts in den Photomasken wesentlich sind. Darüber hinaus bietet die neue Maschine der 6. Generation eine verbesserte In-Die-Ausrichtung mit einer Kombination aus softwaregesteuerten Laserausrichtsystemen und Display-Monitoren. Diese erweiterten Funktionen führen zu einer Steigerung der Produktivität und Präzision. Darüber hinaus verwendet PAS 5500/ 125E ASML fortschrittliche' Spiral-Scan '-Technologie, um das Bild von einer gedruckten Maske auf die Halbleiterscheibe zu übertragen. Dabei beleuchtet die Vorrichtung eine Spirale von „räumlichen Frequenzpunkten“ auf den Wafer und entwickelt eine topographische Karte, die das Gerät kontinuierlich nachjustieren kann. Dadurch wird sichergestellt, dass die Abbildung während des gesamten Scans verzerrungsfrei ist und eine gleichmäßige Auflösung über die gesamte Halbleiterscheibe erreicht. ASML PAS 5500/ 125E verfügt auch über ein Auto-Fokus-Tool, das ständig die Position des Wafers verfolgt und hilft, eine einheitliche, klare Bildgebung zu erhalten. Zusätzlich umfasst die Anlage einen Umweltsynchronisationsmechanismus, der eine gleichbleibende Temperatur und Feuchtigkeit in den Kammern des Modells gewährleistet. Dies hilft, die gesamte Lebensdauer der Geräte zu verlängern und eine konsistente Leistung zu erhalten. Zusammenfassend ist PAS 5500/ 125E ein kommerzielles High-End-Schrittsystem, das mit der fortschrittlichsten Schritttechnologie der 6. Generation und dem ASML PAS 5500/ 125E-Scan-Modul ausgestattet ist. Es bietet hohe bildgebende Präzision und Genauigkeit durch erweiterte Funktionen wie Dosismapping, Resistkontrolle, In-Die-Ausrichtung, Spiralscannen, Autofokus und einen Umweltsynchronisationsmechanismus.