Gebraucht ASML PAS 5500 / 200 #293817870 zu verkaufen

ASML PAS 5500 / 200
Hersteller
ASML
Modell
PAS 5500 / 200
ID: 293817870
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.48-0.60 Resolution: 350 nm DCO: 50 Throughput (WPH): 80.
ASML PAS 5500/200 ist ein Top-Wafer-Stepper des niederländischen niederländischen Technologieunternehmens ASML. Es wird hauptsächlich von Halbleiter- und integrierten Schaltungsherstellern bei der Photolithographie eingesetzt, wobei ein Lichtmuster auf ein Substrat wie Siliziumscheiben projiziert wird, um präzise Motive bis hin zu Nanometerskalen zu reproduzieren. Der Stepper kann elektrische Komponenten in weniger als sieben Sekunden auf einen Wafer aufstellen, freilegen und inspizieren. Es hat eine Systemgenauigkeit von 0,4 Mikrometern und arbeitet mit einer numerischen Apertur von 0,7. Die Maschine verfügt über ein helles, einstellbares Quellspektrum von 254 bis 365nm, mit einer wählbaren Dosis von 0,1 bis 2500 mj/cm2 und 0,2 bis 500 ms Belichtungszeiten. ASML PAS 5500/200 verfügt über zwei externe Schwingungsdämpfer, die es für komplexe optische Geräte sowie eine schnelle Retikel- und Waferstufe geeignet machen, was zu anderen schnelleren und genaueren Prozessen führt. Es ist in der Lage, Wafer von bis zu 200mm Größe zu handhaben. PAS5500/200 ist mit einem automatisierten Steuerungssystem ausgestattet, das die Bedienerzeit verkürzen und die Ergebnisse des Workflows verbessern soll. Dieses System ist in der Lage, Bildverzerrungen und andere Fehler automatisch zu korrigieren, was die Verwendung einer einschichtigen Ausrichtungsgenauigkeit von 2 Mikron und einer mehrschichtigen Ausrichtungsgenauigkeit von 1 Mikron sowie eine Temperaturregelung von -10 bis 50 Grad Celsius ermöglicht. Aus operativer Sicht ist der Stepper recht benutzerfreundlich und erfordert ein Minimum an technischem Wissen, um ihn ordnungsgemäß zu bedienen. Es ist mit einer grafischen Touchscreen-Benutzeroberfläche, computergestützten Job-Setup-Parametern und einer Vielzahl von Diagnosedaten ausgestattet, auf die leicht zugegriffen werden kann. Insgesamt ist ASML PAS5500/200 ein hoch angesehener und zuverlässiger Wafer-Stepper, der Halbleiter- und integrierten Schaltkreisherstellern sichere, genaue und kostengünstige Photolithographielösungen bietet. Die benutzerfreundliche Oberfläche der Maschine, beeindruckende Genauigkeit und hervorragende Bewegungssteuerungsfunktionen sorgen dafür, dass sie für Jahre ein wesentliches Gerät innerhalb der Produktionslinien solcher Unternehmen bleibt.
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