Gebraucht ASML PAS 5500 / 200 #9095592 zu verkaufen

Es sieht so aus, als ob dieser Artikel bereits verkauft wurde. Überprüfen Sie ähnliche Produkte unten oder kontaktieren Sie uns und unser erfahrenes Team wird es für Sie finden.

Hersteller
ASML
Modell
PAS 5500 / 200
ID: 9095592
Wafergröße: 8"
Stepper, 8" Scan speed: 320 mm/sec Reticle size: 6" Chuck: Pin chuck Wafer: Flat zone Flow: Right Computer: SPARC-5 ASML Software version 8.7.0 with Y2K completion (2) WL Ports Lens type: (80) Max NA: 0.6 BMU: Standard Power supply Temperature control Electronic control: WS lamp Reticle changer Wafer changer ASML 200 lens data FEM UL: 0.02 UR: -0.08 C: 0 LL: 0 LR: 0 IQC Focus: 65.85 Pressure: 967 Dose Respectability: 0.08 % Accuracy: 0.05 % Sum: 0.13 % Uniformity Percentage: 4.27 Tilt X: -0.04 Tilt Y: -0.66 Distortion Max DX: 34 nm Max DY: 68 nm NCE X: 36 nm NEC Y: 37 nm Currently de-installed.
ASML PAS 5500/200 ist ein High-End-Wafer-Stepper, der ein großes Sichtfeld mit fortschrittlicher Bildgebung und Pixelausrichtungsgenauigkeit kombiniert. Dieser Stepper bietet hochauflösende Bildgebung und verbesserte Prozessleistung und ist somit perfekt für Halbleiterherstellungsanwendungen geeignet. Das gesamte Sichtfeld von ASML PAS 5500/200 beträgt 43 mm und bietet eine vollständige Palette von Substratbildern. Die maximale Auflösung des Steppers beträgt 5,6 Mikrometer, mit einer hochpräzisen Auflösung der Linienbreite von 1,5 Mikrometern. Darüber hinaus bietet PAS5500/200 eine erweiterte Ausrichtungsgenauigkeit auf Pixelebene mit einer Genauigkeitsstufe von 21 nm mit Kantenüberschneidung. Dies ermöglicht das präzise Bedrucken kritischer Musterschichten mit maximaler Prozesswiederholbarkeit. Der Stepper verfügt über eine Vielzahl von Funktionen und Steuerungen, die ihn ideal für anspruchsvolle und empfindliche Halbleiterherstellungsprozesse machen. PAS 5500/200 verfügt über Y-Achsen-Scannen zum Scannen kleiner Muster, wodurch maximale Genauigkeit in der Größe und Position der Funktionen beim Mustern gewährleistet ist. Der Stepper verfügt außerdem über einen variablen Dosismodus für präzise, ungleichmäßige Dosisverteilungen, wodurch die Gesamtexpositionsdosis und der Energieverbrauch reduziert werden. Der Stepper ist mit einem langlebigen lufttragenden Rahmen und Scannerkopf gebaut und bietet maximale Systemstabilität sowie ein symmetrisches Design, um die Bewegungsgenauigkeit zu maximieren. ASML PAS5500/200 enthält auch einen leistungsstarken Host-Computer, der eine leistungsstarke Anwendungskontrolle, Unterstützung für eine Vielzahl von Benutzeroberflächen sowie manuelle Steuerung von optischen Systemparametern bietet. Insgesamt ist PAS 5500 / 200 Schritt-Oblate eine fortgeschrittene, hochwertige Bildaufbereitungs- und Anordnungslösung für Präzisionshalbleiterherstellungsanwendungen. Mit seinen qualitativ hochwertigen Bildgebungsfunktionen, verbesserter Prozessleistung und integriertem Kontrollsystem können Benutzer effiziente und genaue Leistung genießen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor