Gebraucht ASML PAS 5500 / 200 #9232850 zu verkaufen

ASML PAS 5500/200 ist ein Waferstepper zur lithographischen Strukturierung in der Halbleiterindustrie. Dieses Tool wurde entwickelt, um Muster in Halbleitern zu erstellen, sodass Hersteller Transistoren, Speicher und Mikroprozessoren mit aggressiven Linienbreiten von 0,10 Mikrometern oder kleiner erstellen können. Der Stepper besteht aus vier Hauptkomponenten: einer Beschleunigungseinheit, einer Steuereinheit, einer Optikeinheit und einer mobilen Plattformeinheit. Die Beschleunigungseinheit steuert die Koordinaten des Wafers, die Steuereinheit läuft das dem lithographischen Muster zugeordnete Programm, die Optikeinheit ist für die Abbildung des Musters auf den Wafer zuständig und die mobile Plattformeinheit ist für die Bewegung des Wafers in X- und Y-Richtung zuständig. Alle vier Einheiten sind miteinander verbunden und jede Einheit verfügt über eine Reihe von Sensoren und Aktoren, die für Rückkopplungsinformationen verantwortlich sind. Die optische Ausrüstung von ASML PAS 5500/200 verfügt über eine einzigartige Kombination von Linsen und Spiegeln, die auf die Oberfläche des Wafers abgebildet sind. Ein Wafer wird während der Exposition durch einen Probenhalter gehalten, der mit Hilfe eines A4-Systems (Advanced Alignment Mode) unterstützt wird. Die vier Komponenten zusammen garantieren Genauigkeit und Geschwindigkeit bis zu einer Position von einem Bruchteil eines Mikrons. Eine Vakuumsäule bildet die Verlängerung der Vakuumkammer, die eine Niederdruckumgebung schafft, in der der Wafer gehalten wird, wodurch eine hervorragende Platzierung, eine hochwertige Bildgebung und eine größere Mustertreue gewährleistet sind. Der Stepper hat eine 6-Zoll-programmierbare Wafergröße und eignet sich somit ideal für die Produktion von kleineren integrierten Schaltungen sowie für eine maximale Belichtungszeit von 5 Sekunden. Seine Spotting-Geschwindigkeit ist deutlich schneller als die Modelle der Wettbewerber, und der PAS 5500 ist auch in der Lage, genauere Ergebnisse zu erzielen. Zusätzlich ist der Stepper mit einem Umkehrweg-Fokus-Profil-Algorithmus ausgestattet, der das Verhalten des PAS 5500 in Reaktion auf Vektoränderungen präzise modellieren kann, um eine bessere Fokuskontrolle und verbesserte Stabilität während der Integrations- und Belichtungsphasen zu gewährleisten. PAS5500/200 ist mit einer integrierten Wafer-Zentrier- und Tracking-Einheit ausgestattet, die sicherstellt, dass Wafer präzise über dem Fokus der Maschine positioniert werden. Dadurch ist es möglich, Wafer jeder Größe zu bearbeiten, auch solche mit nicht standardmäßigen Größen, die schwierig zu entwickeln sein können. Darüber hinaus verfügt PAS 5500/200 über einen fortschrittlichen Rezeptmodus, der eine präzise Strukturierung im Mikroherstellungsprozess und in der High-End-Lithographie ermöglicht. Insgesamt ist PAS 5500/200 ein hochpräziser Wafer-Stepper, der entwickelt wurde, um die Erträge zu verbessern, den Durchsatz zu erhöhen und die Produktionszeiten zu reduzieren. Der Einsatz ausgefeilter Technologien und Komponenten macht es zur idealen Wahl für Hersteller, die zuverlässige, genaue und leistungsstarke Lithographie suchen.