Gebraucht ASML PAS 5500 / 200B #293804503 zu verkaufen

ASML PAS 5500/ 200B ist eine Art Wafer Stepper, auch bekannt als Stepper Track Lithographie Ausrüstung. Es wird in photolithographischen Einrichtungen verwendet, um Schaltungen für integrierte Schaltungen für die Halbleiterindustrie zu schaffen. Dies gelingt durch eine Kombination von Licht und Masken, die das Muster auf die Oberfläche des Wafers legen. PAS 5500/ 200B hat eine Schrittgröße von insgesamt 2 Meter mal 1,5 Meter und ist in der Lage, einen Wafer von bis zu 200 mm Durchmesser zu trennen, während 1,2 μ m Registriergenauigkeit in x- und y-Richtung erreicht wird. Es verwendet eine hohe Auflösung, eine breitbandige Beleuchtung mit einer Photonenenergie im Bereich von 246 bis 1064 nm und einen optischen Zoombereich von 16x. Die Einheit kann verschiedene numerische Öffnungen im Bereich von 0,45 bis 1,35 bereitstellen. Mit diesem Bereich kann es eine Vielzahl von Funktionsgrößen und über Scan-Fähigkeiten mit Genauigkeitsbereich von 150 nm bis 30 μ m und Tiefenbereich von 8 μ m bis 28 μ m erstellen. ASML PAS 5500/ 200B verwendet eine 3-achsige Regelungsmaschine, die die Spalten synchronisiert und einen hochauflösenden Musterdruck ermöglicht. Seine zwei geschwindigkeitsmotorisierten Achsen werden von Precision Ball Screws angetrieben, die eine hohe Positioniergenauigkeit auf schnelle und zuverlässige Weise bieten können. Das Werkzeug verfügt über eine hohe Auflösung, Positionsrückmeldung und eine geschlossene Luftfeuchtigkeitsregelung. Das Modell ist in der Lage, aggressive Overlay-Steuerung und schnellen Durchsatz, so dass eine beschleunigte Serienproduktion Zyklus. Die integrierte Software SoftRecipe bietet eine benutzerfreundliche und intuitive Benutzeroberfläche für einfache Bedienung und Wartung. Darüber hinaus bietet es sowohl grafische Merkmale als auch erweiterte statistische und geometrische Analysefunktionen. Schließlich enthält PAS 5500/ 200B ein umfassendes Standard-Sicherheitsprotokoll, das das Risiko sicherheitsrelevanter Ereignisse minimiert. Jedes seiner Komponenten wird nach den höchsten Sicherheitsstandards der Branche entworfen und getestet, mit modernsten Sicherheitsverriegelungen, die mit den neuesten Sicherheitssteuerungsmechanismen funktionieren. Mit solchen fortgeschrittenen Sicherheitseigenschaften ist ASML PAS 5500 / 200B eine zuverlässige und hoch effiziente Oblate Schrittspurensteindruckverfahrenausrüstung.