Gebraucht ASML PAS 5500 / 250 #293817869 zu verkaufen

ASML PAS 5500 / 250 ist ein volles Feld von niederlande-basiertem Advanced Semiconductor Materials Litechnology (ASML) gebauter Stief-Und-Mehrmaligsteindruckverfahrenscanner. Es wird bei der Herstellung von integrierten Halbleiterschaltungen und anderen mikroelektronischen Bauelementen eingesetzt. Der Stepper besteht aus einer isolierten Struktur, einer langlebigen und hochpräzisen Optik und einer Computersteuerung. Die isolierte Struktur isoliert Schwingungen von der Umgebung, wodurch die Ausrichtung und Position der Optik von der Maske zum Wafer genau bleibt. Die Optikbaugruppe enthält einen Roboterscheiben- und Maskenhandhabungsmodul, 3 Spiegel mit Präzessionscodierern, mehrere Linsen, zwei Galvanometer-Scanner zur Strahlablenkung und zwei digitale Bildstreckeinheiten. Das kombinierte optische System mit einem minimalen Objektivannahmewinkel von 5 Grad hat eine Auflösung von 0,25 Mikrometern sowohl für IC-Muster- als auch für Overlay-Funktionen. Das Steuergerät dient zur Steuerung, Überwachung und Aufzeichnung der Schrittfunktionen. Es besteht aus einer grafischen Benutzeroberfläche (GUI) mit farbcodierten Blenden zur Kennzeichnung des Prozesszustands, einem hochrangigen Funktionsmenü und einer farbcodierten Tastatur. Die Maschine ist außerdem mit einem ADC-Werkzeug (Automatic Distance Control) ausgestattet, das mithilfe von Bilderkennungsalgorithmen den Abstand zwischen Maske und Wafer nach Bedarf anpasst. ASML PAS 5500/250 stepper ist in der Lage, Substrate bis 8 Zoll (200 mm) in der Größe zu verarbeiten, mit Durchsätzen von bis zu 395 Wafern pro Stunde. Es ist auch mit einer breiten Palette von Optionen verfügbar, die sowohl die Prozessleistung als auch den Durchsatz verbessern können, einschließlich eingebautem Beschichtungsmittel/Entwickler, einer Lastverriegelungskammer und Wafer-Wasch-/Messeinrichtungen. In der Zusammenfassung ist PAS 5500 / 250 ein volles Feld Stief-Und-Mehrmaligsteindruckverfahrenscanner, der in der Produktion von einheitlichen Stromkreisen und anderen mikroelektronischen Geräten verwendet ist. Es verfügt über eine isolierte Struktur, eine hochpräzise Optikbaugruppe und eine Computersteuerung, um die gewünschte Genauigkeit des Muster- und Ausrichtungsprozesses zu gewährleisten. Der Stepper ist auch in der Lage, Substrate bis zu 8 "Größe zu verarbeiten, mit Durchsätzen bis zu 395 Wafer pro Stunde.