Gebraucht ASML PAS 5500 / 250 #9166553 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9166553
Wafergröße: 8"
i-Line stepper, 8"
ARMS Option
Image field size:
X: 22.0 mm
Y: 22.0 mm
Diameter: 31.1 mm
Steps:
X: 11
Y: 11
Measurement type: Sample mode
Lamp power (W): 3150.0
Samples per position: 50
Apply REMA window: Yes
Load reticle: N
Illumination mode: Annular
Numerical aperture: 0.58
Sigma outer: 0.800
Inner: 0.450
Uniformity measurement result:
Uniformity (%): 1.79
Logfile: LI / LIUM / waf.941
(121) Measurements
Tilt:
X (% / field): 0.74
Y (% / field): -0.18
Overall average:
Ratio: 1.00
Standard deviation: 0.01
Intensities spot sensor (mW / cm2): 1706.65
Standard deviation: 12.48
Intensities energy sensor (mW / cm2): 1706.75
Standard deviation: 5.10
Lamp time lit (hour): 1866:42
Estimated uniformity from measured data (%):
If corrected:
Actual tilts: 1.78
Gradient filter: 1.54
Tilts and with gradientfilter: 1.26
Symmetric uniformity value (%): -0.52
Currently installed.
ASML PAS 5500/250 ist ein anspruchsvoller Wafer-Stepper, der für Lithographieaufgaben auf Produktionsebene bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es ist eine Next Generation Scanning (NGS) -Ausrüstung, die bis zu 25 Wafer pro Stunde mit einer Auflösung von 0,25 Mikrometern verarbeiten kann. Dieser Wafer-Stepper liefert den höchsten Durchsatz und die höchste Auflösung in seiner Klasse. Herzstück des Systems ist eine erweiterte Scan-Objektiv-Baugruppe, die eine 8-Kanal-Multi-Scanner-Konfiguration verwendet. Dieses Setup ermöglicht einen viel höheren Durchsatz als andere Stepper und ist somit eine ideale Wahl für Hersteller, die die Produktionsgeschwindigkeit maximieren möchten. Das Objektiv bietet eine minimale Auflösung von 0,25 Mikrometern, was für viele lithographische Prozesse in der fortschrittlichen Halbleiterbauelementherstellung notwendig ist. Das Gerät enthält auch eine einzigartige Funktion, die als Advanced Dispersive Optics (ADO) bekannt ist. Dies ist eine Technologie, die eine Kombination aus mehreren Objektiven und Spiegeln verwendet, um eine bessere Bildauflösung zu ermöglichen. Diese Technologie hilft, Aberrationen zu beseitigen und die Auflösung zu verbessern, sodass der Stepper seine hohe professionelle Genauigkeit beibehalten kann. Darüber hinaus verfügt ASML PAS 5500/250 über eine Reihe von Unterstützungsfunktionen. Beispielsweise verfügt es über eine automatisierte Wafer-Lademaschine mit einer Vielzahl von Merkmalen, um eine hochpräzise Ausrichtung des Wafers zu gewährleisten. Es verfügt auch über ein integriertes Kühlwerkzeug für maximale Effizienz und Lebensdauer der Linsen und Komponenten. Der Stepper ist zudem mit einer umfassenden GUI (grafische Benutzeroberfläche) ausgestattet, die die Bedienung und Programmierung vereinfacht. Dies macht es Anfängern leicht, sich schnell mit dem Asset vertraut zu machen, so dass sie komplexe Lithographieaufgaben mit Leichtigkeit ausführen können. PAS 5500/250 ist ein leistungsstarker und zuverlässiger Wafer-Stepper, der Herstellern den höchsten Durchsatz und die höchste Auflösung in seiner Klasse bietet. Seine ADO-Technologie und umfassende Unterstützungsfunktionen machen es zu einer großen Wahl für hochpräzise Lithographieanwendungen.
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