Gebraucht ASML PAS 5500 / 250C #293811101 zu verkaufen

ASML PAS 5500/ 250C ist ein hochentwickelter professioneller Wafer-Stepper, der für fortschrittliche Halbleiteranwendungen entwickelt wurde. Es wird bei der Herstellung von integrierten Schaltungen und anderen verwandten mikroelektronischen Geräten verwendet. Die Ausrüstung besteht aus einer Reihe von Komponenten, darunter ein Großrechner, Dechucker und Chucker, eine Computer-Steuereinheit, ein optisches Ausrichtsystem, Wafer-Handling-Geräte sowie Motoren und Antriebe. Das Mainframe ist für die Steuerung der gesamten Einheit verantwortlich, während die Entschwärmer und Chucker und Wafer Handling Roboter die Wafer Transfers abwickeln. Die Rechnersteuerung ist dafür zuständig, Befehle an jede Maschinenkomponente zu senden und Daten für Wafer-Be-/Entladen, Werkzeugabstimmung und Kalibrierung zu pflegen. Die optische Ausrichtungseinrichtung dient zur präzisen und präzisen Messung der Position der Wafer und besteht aus einer motorisierten Ausrichtungsstufe, zwei Laserinterferometern, einem digitalen Signalprozessor (DSP) zur Messung der Fehlausrichtung und einem Monitor. Das Wafer-Handling-Gerät besteht aus einem Aufzug, einer XY-Translationsstufe und einem Kassettenlift, die alle helfen, den Wafer genau auf die Waferbühnen zu positionieren. Die Motoren und Antriebe sorgen für eine präzise Bewegung der Ausrichtungsmotoren, Großrechnerkomponenten und Wafer-Handling-Roboter. Das Modell bietet eine Vielzahl von Funktionen, wie ein 50 mm Sichtfeld mit 21 mm Wafer Bewegungsfähigkeit, eine 7nm Genauigkeit welcher Platzierung und eine 0,2 μ m Genauigkeit welcher Ausrichtung. Zusätzlich hat es eine Geschwindigkeit von bis zu 12 Wafern pro Minute und kann sowohl 300 mm als auch 200 mm Wafergrößen aufnehmen. PAS 5500/ 250C ist in der Lage, sowohl in Chargen- als auch in kontinuierlichen Produktionsumgebungen zu arbeiten, was eine Reihe von Vorteilen gegenüber herkömmlichen Wafersteppern bietet, wie verbesserte Ausbeute und Effizienz, schnellerer Durchsatz und zuverlässigere Abläufe. Durch die Bereitstellung zahlreicher automatisierter und halbautomatischer Funktionen eignet es sich hervorragend für die Serienproduktion, um sicherzustellen, dass der Prozess zeitnah und mit höchsten Qualitätsergebnissen abgeschlossen wird.