Gebraucht ASML PAS 5500 / 250C #9265786 zu verkaufen

ASML PAS 5500/ 250C ist ein Wafer-Stepper, ein Werkzeug, das in der Halbleiterindustrie zur Herstellung mikroskopischer elektronischer Bauelemente auf einem Silizium-Wafer verwendet wird. Die technischen Spezifikationen des Geräts beginnen mit seiner maximalen Feldgröße, wobei eine aktuelle Version ein Lichtfeld von 250 mm Durchmesser bietet. Darüber hinaus kann seine Optik konfiguriert werden, um sowohl Cut-Off-Scanner als auch Step-and-Repeat-Optik mit Auflösungen bis zu 0,3 Mikrometer zu unterstützen. PAS 5500/ 250C Stepper umfasst eine oder zwei voll schwimmende flache Tischstufen sowie ein 7-Achsen-Bewegungssteuerungssystem. Die flachen Tischstufen bieten eine überlegene Ausrichtungs- und Positioniergenauigkeit für die Stempelverarbeitung, während die Bewegungssteuerung schnelle und präzise X-, Y- und Z-Bewegungen ermöglicht. Die Beleuchtungsmaschine des Steppers verfügt über ein Laserbelichtungswerkzeug und eine fortschrittliche i-Line-Optik. Die Laserbelichtungsanlage kann sowohl zur Unterstützung von Lasermasken- als auch Direktlaser-Schreibtechniken (DLW) verwendet werden und verfügt über eine 13,56-MHz-25-Watt-ArF-Quelle (Atomfluor) und ein 3-Achsen-Bewegungssteuerungsmodell. Die i-Line-Optik unterstützt den Betrieb von 0,6 und 0,8 Mikrometern und kann große Wafergrößen in kurzer Zeit mit einer maximalen Substratgröße von bis zu 8 Zoll belichten. Die Optik bietet die Möglichkeit zwischen Scan- und geradlinigen Modi ohne mechanische Änderungen der Optik zu wechseln. ASML PAS 5500/ 250C umfasst auch eine modulare Optionsstruktur mit Modulen für die In-situ-Messtechnik, Kontaktausrichtung und ein Vorausrichtungsmodul. Das Gerät verfügt auch über eine Windows-basierte Plattform für alle Einrichtungs-, Betriebs- und Wartungsaktivitäten. Auf diese Weise können Anwender mit intuitiven grafischen Benutzeroberflächen arbeiten, zusammen mit Integrationstools für die sekundäre Automatisierung. PAS 5500/ 250C ist ein fortschrittliches System, das Halbleiterunternehmen Präzisionsmuster und bildgebende Funktionen für eine Vielzahl von industriellen Prozessen zur Verfügung stellt. Mit seinen modernsten Eigenschaften und Fähigkeiten ist das Gerät in der Lage, extrem präzise Komponenten für verschiedene Arten von elektronischen Geräten zu erstellen.