Gebraucht ASML PAS 5500 / 275D #293817866 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 293817866
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.48-0.60
Resolution: 280 nm
DCO: 40
MMO: 80
Throughput (WPH): 120.
ASML PAS 5500/ 275D ist ein moderner Wafer-Stepper, der in photolithographischen Anwendungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist ein hocheffizienter Wafer-Stepper, der es ermöglicht, hochpräzise Lithographiemuster auf den Wafer zu schreiben. Dieser Stepper verwendet eine fortschrittliche Scantechnologie, die Maskenhalter, Waferträger und optischen Kopf in einer einzigen Vorlage synchronisiert. PAS 5500/ 275D ist ein Vektor-Scanning-Stepper, der digitale Antriebssysteme, Magnetlager und eine fortschrittliche Projektionsausrüstung verwendet, um eine hohe Genauigkeit der Positionierung der Retikelhalter zu erreichen. Seine vierachsige Präzisionsbewegungssteuerung sorgt für eine feine Ausrichtung der Maske und des Wafers und ist somit für feine Overlay-Anwendungen geeignet. Das Gerät verfügt auch über ein Wafer-Handhabungssystem, das zuverlässig und robust ist. Es verfügt über eine effiziente Beleuchtungseinheit, die eine zweidimensionale Fokussieroptik und eine binäre Pupillenmaschine verwendet, um den Energieverbrauch zur Belichtung des Wafers zu reduzieren. Dies hilft auch, den niedrigen Energieverbrauch zu erhalten und gleichzeitig eine überlegene Leistung zu bieten. Der Stepper verfügt auch über ein automatisches Mustererkennungswerkzeug, das hilft, einen hohen Durchsatz und Ertrag bei Musteranwendungen zu erzielen. ASML PAS 5500/ 275D verfügt über eine erweiterte Kontrollinstanz, die präzise und wiederholbare Expositionsprozesse gewährleistet. Es reduziert den Zeitaufwand für die Einrichtung eines Produktionslaufs und verbessert so die Leistung und Effizienz des Prozesses. Schließlich ist es mit einer On-Board-Kommunikationsschnittstelle zur Ferndiagnose und Überwachung von Lithographiebetrieben ausgestattet. Insgesamt ist PAS 5500/ 275D ein leistungsfähiger und effizienter Wafer-Stepper, der bei der Herstellung zuverlässiger und wiederholbarer Halbleiterbauelemente hilft. Es hat eine robuste Konstruktion, und seine fortschrittliche Automatisierung, digitale Antriebssysteme und Optik ermöglichen es, hochauflösende Bilder bei minimalem Stromverbrauch zu erzielen. Darüber hinaus ermöglicht seine Fernkommunikationsschnittstelle es Benutzern, Lithographiebetriebe zu überwachen und bei Bedarf Parameter anzupassen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor