Gebraucht ASML PAS 5500 / 275D #9188744 zu verkaufen

ASML PAS 5500/ 275D Wafer Stepper ist eine zweistrahlige, computergesteuerte Projektions-Photolithographie-Ausrüstung. Es wird bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen (wie ICs und MEMS) verwendet. Der Stepper hat zwei Lichtquellen - ein 248 nm Wellenlänge KrF Excimer Laserstrahl und ein 193 nm Wellenlänge ArF Excimer Licht - die moduliert werden, um sich auf die Zielfläche auf dem Substrat zu fokussieren. Die Lichtquellen ermöglichen hochauflösende Lithographieoperationen mit einer Mindesteigenschaftsgröße von 0,18 μ m. Der PAS 5500 verfügt über ein Wafer-Bühnensystem, das den Wafer im Strahlengang positioniert und den Wafer dreht, um jede Form mit dem Strahl auszurichten. Diese Waferstufeneinheit ist in der Lage, Geschwindigkeit und Genauigkeit in der Größenordnung von Nanometern und Sekunden. Zusätzlich ist die Maschine für den Betrieb bei Temperaturen bis zu 16 ° C ausgelegt. Das Tool ist in der Lage, Submikron Genauigkeit durch die Verwendung eines zweidimensionalen Ausrichtung Asset zu erreichen. Dieses Modell verwendet eine dreiachsige Stufe und vier CCD-Kameras, um eine präzise Registrierung des Wafers vor der Belichtung zu gewährleisten. ASML PAS 5500 verwendet einen fünfachsigen, doppelten MST (Mechanical Stage Translator) -Scankopf, um den Wafer effizienter zu gestalten. Der PAS 5500 ist mit einer fortschrittlichen bildgebenden Ausrüstung ausgestattet, die eine hochauflösende Abbildung von Mikrostrukturen auf dem Wafer ermöglicht. Dazu gehört ein mikrooptisches und mehrlagiges optisches Abbildungssystem mit einer NA (numerische Apertur) von bis zu 0,5. Das Gerät verfügt auch über eine spezielle Scan-Software-Suite für die vollständige Waferbearbeitung und Inspektion. Dazu gehören das Scan-Tool für die automatische Wafer-Positionierung, das Stepper-Tool für die automatische Musterausrichtung und das Exposure-Tool für die automatisierte Belichtung. Die Software-Suite ermöglicht eine benutzerfreundliche Steuerung der Prozesse, wodurch Zeit und menschliches Eingreifen reduziert werden. Insgesamt ist PAS 5500/ 275D ein industrieller, zweistrahliger Projektionsstepper, der für Präzisionslithographieanwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Seine Eigenschaften kombinieren für die fortschrittliche Waferbearbeitung, ermöglicht die Herstellung von integrierten Schaltungen mit schnellerem Durchsatz und höheren Erträgen.