Gebraucht ASML PAS 5500 / 300 #293814115 zu verkaufen

ASML PAS 5500/300 ist eine vollautomatische Wafer-Stepper-Ausrüstung zur Bereitstellung von Lösungen für die Herstellung integrierter Schaltungen. Das System bietet eine Plattform für Ausrichtung, Lithographie und Messtechnik (Messung) für Wafer. Wafer Stepper bieten Lithographie für die Geräteherstellung auf Wafern, mit hohen Zykluszeiten und hohe Präzision Platzierung und Überlagerung Anforderungen. Das Gerät besteht aus den Hardware- und Softwarekomponenten zur Durchführung des Lithographieprozesses, einschließlich mehrerer Schlüsselkomponenten. Zunächst soll ein Stepper den Wafer durch mehrere Stufen der lithographischen Bildgebung und Strukturierung bewegen. Der Stepper enthält mehrere Hardware, wie eine Schrittsäule, eine Waferbühne und ein Objektiv. Die Schrittsäule soll den Wafer präzise unter die Linse bewegen und auf die Waferoberfläche abbilden. Die Waferstufe ist dazu ausgelegt, den Wafer während der Abbildungsprozesse an Ort und Stelle zu halten und kann für unterschiedlich große Wafer mechanisch eingestellt werden. Das Objektiv kann gegen verschiedene Linsentypen und Leistungsstufen für verschiedene Schichten auf dem Wafer ausgetauscht werden. Die optischen Komponenten der Maschine ermöglichen eine hochpräzise Ausrichtung des Lithographiemusters auf den Wafer. Ein Mustergenerator erzeugt eine elektronische Darstellung des aufzubringenden Musters auf der Waferoberfläche. Optische Sensoren können die Oberflächenmerkmale des Wafers erfassen, um das Muster darüber auszurichten. Das Muster wird dann mittels Laseroptik auf den Wafer geätzt. Die messtechnischen Werkzeuge des Werkzeugs werden auch zur Messung der auf dem Wafer gemusterten Schaltungen verwendet. Zu diesen Werkzeugen gehören optische Scanner, die in der Lage sind, die Abmessungen des Musters auf dem Wafer genau zu messen. Das Asset enthält auch mehrere Arten von Kamerasystemen, um ein Bild des Wafers zu liefern, nachdem die Bildgebung und Musterung abgeschlossen ist. ASML PAS 5500/300 ist eine vielseitige Wafer-Schrittmaschine, die eine Vielzahl von Lithographieaufgaben mit sehr hoher Präzision durchführen kann. Aus industrieller Sicht ist es eine zuverlässige Plattform mit einer extrem schnellen Zykluszeit und Möglichkeiten der Ausrichtung und der Erfüllung anspruchsvoller Overlay-Anforderungen. Das Modell bietet einen vielseitigen Ansatz zur Herstellung integrierter Schaltungen und ist für viele Industrieanwendungen gut geeignet.