Gebraucht ASML PAS 5500 / 300 #293817868 zu verkaufen

ASML PAS 5500 / 300
Hersteller
ASML
Modell
PAS 5500 / 300
ID: 293817868
DUV Stepper Numerical Aperture (NA): 0.40-0.57 Resolution: 250 nm DCO:  40 Throughput (WPH): 80.
ASML PAS 5500/300 ist ein von ASML hergestellter Wafer-Stepper. Es ist ein komplettes System, das in der Lage ist, präzise Mikroschaltkreisprodukte auf einem einzigen Wafer in einem automatisierten und zuverlässigen Prozess zu produzieren. ASML PAS 5500/300 besteht aus fortschrittlichen Bewegungsbereitstellungs-, Bühnen-, Optik- und Steuerungssystemen, die es ermöglichen, hochpräzise Wafer-Verarbeitungsfunktionen anzubieten. Sein Bühnendesign, optimiert für hohe Geschwindigkeit und hohe Genauigkeit, behält Steifigkeit und thermische Stabilität bei, um Präzisionsplatzierungsgenauigkeit bei niedriger Vibrationsfrequenz und geringer thermischer Drift zu liefern und stabile Ergebnisse über mehrere Verarbeitungsschritte hinweg zu liefern. PAS 5500/300 verfügt über eine motorisierte Präzisionsstufe für höchste Platzierungsgenauigkeit und Wiederholgenauigkeit in der Ebene. Diese Stufe wird von 3 unabhängigen und spielfreien Linearmotorsystemen angetrieben und erreicht sowohl eine schnelle als auch eine genaue Positionierung. Die Optik und Projektionssysteme des PAS 5500/300 zeichnen sich durch eine erweiterte Auflösung und Wiederholbarkeit aus und erzeugen scharfe Profile und eine hohe Präzisionsregistrierung. Es hat auch einen breiten Wellenlängenbereich von ultraviolettem bis zu fernem Infrarotlicht und bietet Kompatibilität mit einer Vielzahl von Materialien. ASML PAS 5500/300 integriert auch fortschrittliche Steuerungssysteme für präzisen und zuverlässigen Betrieb. Dazu gehören ein Präzisionsregler und eine vollautomatische Echtzeit-Mess- und Rückkopplungssteuerung, die eine hohe Wiederholbarkeit über mehrere Prozeduren auch bei komplexen Prozessen ermöglicht. Abschließend ist ASML PAS 5500/300 ein hochgenauer Wafer-Stepper, der Mikroschaltungen auf einem einzigen Wafer in einem automatisierten und zuverlässigen Prozess herstellen kann. Es verfügt über eine Präzisionsstufe, Projektionssysteme und ein Echtzeit-Kontrollsystem, um eine hohe Wiederholbarkeit, Genauigkeit und Zuverlässigkeit über mehrere Verfahren zu gewährleisten.
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