Gebraucht ASML PAS 5500 / 300C #9197509 zu verkaufen

ASML PAS 5500/300C ist ein vollautomatischer Wafer-Stepper, der bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Dieses Werkzeug wurde entwickelt, um komplexe integrierte Schaltungschips mit ultrapräzisen Mustern mit tiefen ultravioletten (DUV) Lichtquellen herzustellen, die abgetastet werden können, um photoresistbeschichtete Wafer präzise zu belichten. ASML PAS 5500/300C bietet hohe Durchsatz-Verarbeitungsgeschwindigkeit und überlegene Einheitlichkeit für die fortschrittlichsten Chip-Designs, mit der Fähigkeit, Hunderte von Wafern in einem Bruchteil der Zeit zu verarbeiten, würde es eine manuelle Stepper-Ausrüstung benötigen, um die gleichen Aufgaben zu erledigen. Sein Hauptvorteil ist sein Hochleistungs-Lithographiesystem, das einen extrem engen Fokus und eine genaue Belichtung während des gesamten Prozesses liefert. Dies wird durch seine fortschrittliche Software und Hardware erreicht, einschließlich eines optischen Scanners mit einem großen Sichtfeld, integrierten Sensoren und einer motorisierten Bühne für eine präzise Platzierung von Wafern. Das große Sichtfeld des Scanners ermöglicht es PAS 5500/300C, sowohl kleine als auch große Aufträge gleichzeitig zu verarbeiten, was die Prozesszeit erheblich reduziert. Darüber hinaus verfügt PAS- 5500/300C über eine Feldabflachungslinse, die Musterschwankungen im gesamten Sichtfeld ausgleicht. ASML PAS 5500/300C ist auch mit mehreren Funktionen konzipiert, die seine Gesamteffizienz erhöhen. So richtet die „Pre-Alignment“ -Prozedur die Waferorientierung schnell aus, dann wird das „Auto-Centering“ -Verfahren schnell neu ausgerichtet und das Photoresist-Muster optisch ausgerichtet. Mit der „Multi-Step-Strategie“ können mehrere Wafer in der gleichen Position freigelegt werden, was den Prozess weiter beschleunigt, während das Software Development Kit (SDK) den Anwendern die Möglichkeit gibt, eigene Prozessrezepte zu entwickeln. ASML PAS 5500/300C enthält auch mehrere andere Funktionen, um Flexibilität und Leistung zu verbessern, wie seinen Time Multiplexer (TMX) Spiegel und Kollimationslinse, und seine laserbasierte Wafer-Dünneinheit. Zusätzlich kann eine optionale Autofokussiermaschine für noch mehr Genauigkeit hinzugefügt werden. Andere Prozessoptionen umfassen Bereichshintergrundbereinigung, Auflösungsabstimmung, Rauschkorrektur und Polarisationskorrektur. Zusammenfassend ist PAS 5500/300C ein fortschrittliches und hochfähiges Lithographie-Tool, das eine Reihe von Leistungsmerkmalen, Genauigkeit und Effizienz bietet. Sein weites Sichtfeld, integrierte Sensoren und motorisierte Bühnen-, Softwaresysteme und optionales Zubehör machen es zu einem idealen Werkzeug sowohl für die Großserienfertigung als auch für präzise kleine Chipdesign-Prozesse.