Gebraucht ASML PAS 5500 / 300C #9218126 zu verkaufen

ASML PAS 5500 / 300C ist eine hohe Leistung, Oblate Schrittausrüstung / Scanner-Ausrüstung, die durch ASML verfertigt ist. Es ist für die High-End-Photolithographie von integrierten Schaltungen und anderen Geräten konzipiert. ASML PAS 5500/300C bietet hochauflösende Bildgebung über ein großes Sichtfeld, mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit. PAS 5500/300C hat eine kompakte Bauform mit einem Grundrahmen, der einen Hauptdrehtisch und eine Vakuumplatte enthält. Die äußere Struktur des Systems bietet Umweltschutz, und die optischen Elemente sind starr montiert, um Vibrationen zu reduzieren. Die optischen Komponenten inklusive Objektive sind in die Bedienkonsole integriert. Es verfügt über Vierstrahlkanäle mit optischer Verbesserungseinheit und eine Vielzahl von Beleuchtungskonfigurationen für eine feine Auflösung der Funktionen. Um die höchste Auflösung zu bieten, verfügt PAS 5500/300C über eine 1,55 Mikrometer Laserfleckgröße, eine Strahlzeigergenauigkeit von 1,2 Mikrometern und eine Autofokusmaschine mit einem Bereich von 0,5 bis 7,5 Mikrometern. Das Tool verfügt über eine volle Spreizbeleuchtung, um eine gleichmäßige Belichtung über das Bildfeld zu ermöglichen. Es verwendet auch ein umgekehrtes telezentrisches optisches Modell für verbesserte Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit. Die Bewegung des Wafers wird durch eine computergesteuerte, schrittbasierte Bewegungseinrichtung gesteuert. Dieses System übt weniger Kraft auf den Wafer aus als herkömmliche Methoden und sorgt für eine verbesserte Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit. Es ist in der Lage, Geschwindigkeiten bis zu 17,5 mm/s zu erreichen, was für die meisten Anwendungen ausreicht. Die Einheit kann eine breite Palette von Wafergrößen und eine Vielzahl von Materialien handhaben. Für spezielle Anwendungen bietet es auch eine Option für größere Ansichtsfelder und Spaltenformen. Zusätzlich ist ein Plattenaufsatz eingebaut, der eine direkte Abbildung von eingeschlossenen Substraten ermöglicht. ASML PAS 5500/300C bietet viele Funktionen zur Bereitstellung von Hochdurchsatzleistung, wie eine drehbare Musterdatei, eine Batch-Auftragswarteschlange und ein Mustervergleichswerkzeug. Diese Maschine kann auch hochpräzise Bildmuster erzeugen, wodurch sie für Produktionslinien-Anwendungen geeignet ist. Insgesamt ist ASML PAS 5500/300C ein zuverlässiges und effizientes Werkzeug, um eine Vielzahl von Photolithographie-Anforderungen zu erfüllen. Mit seinem großen Gesichtsfeld, seiner Auflösung und seiner Gleichmäßigkeit eignet es sich für eine Vielzahl integrierter Schaltungsanwendungen. Darüber hinaus bieten sein stepperbasiertes Motion Asset und mehrere Beleuchtungskonfigurationen eine hohe Durchsatzleistung.