Gebraucht ASML PAS 5500 / 350C #9137673 zu verkaufen

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Hersteller
ASML
Modell
PAS 5500 / 350C
ID: 9137673
Weinlese: 2009
DUV Stepper, 8" 2009 vintage.
ASML PAS 5500/ 350C ist eine innovative Wafer-Stepper-Ausrüstung für Mikrolithographieanwendungen. Dieser Stepper hat ein einzigartiges Design, das es ermöglicht, qualitativ hochwertigen lithographischen Druck auf kleinen Strukturen zu erzeugen. ASML PAS 5500/350C ist mit einem spezialisierten optischen System ausgestattet und nutzt modernste Technologie, um einen zuverlässigen und wiederholbaren Prozess zu ermöglichen. Das Gerät hat eine Positioniergenauigkeit von 1 Mikron und eine Blendengröße von 20 Mikrometern und verfügt über neueste Lasertechnologien für eine überlegene Belichtungsleistung. PAS 5500/ 350C wird von einem 350 Watt Krypton Laser angetrieben, der eine hochauflösende Bildgebung und zuverlässige, schnelle Musterzeit ermöglicht. Dieser Laser ist in der Lage, bis zu 17nm Funktionsgrößen bei 70w/cm2 Intensität zu liefern. Die Wellenlänge des Lasers beträgt 6,45 Mikrometer, was optimal für die Belichtung der fortgeschrittenen Photoresists in der Mikrolithographie ist. Der Laser hat eine Leistung von 350 Watt bis 1,2 kW. PAS 5500/350C verwendet hochgenaue Ausrichtungs- und Fokussysteme. Dieser Stepper verfügt über eine patentierte streuarme Objektivlinsenmaschine zur Bildgebung. Die Objektivlinse arbeitet sowohl im 0,55-numerischen Apertur- (NA) als auch im 1,2-NA-Modus. Dies unterstützt Funktionsgrößen von 10 nm bis 1 Mikron. ASML PAS 5500/ 350C ist mit einem Hochgeschwindigkeits-Scanhead ausgestattet. Es scannt große Belichtungsfelder mit einer Bildgebungsrate von bis zu 5MHz. Die Zoomoptik bietet die optimale Abtastfleckengröße für die Bildgebung, was eine überlegene Bildqualität gewährleistet. ASML PAS 5500/350C wird durch ein leistungsfähiges und einfach zu bedienendes Softwarepaket gesteuert. Dieser Stepper verfügt über eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche und ist in der Lage, in mehreren Branchenanwendungen herausragend zu sein. Es unterstützt die automatische Mustererkennung und bietet Prozessrückmeldungen, die eine optimale Durchsatzleistung gewährleisten. PAS 5500/ 350C ist ein innovatives und leistungsstarkes Wafer-Stepper-Tool für Mikrolithographie-Anwendungen. Es verwendet modernste Technologie und ist in der Lage, hochwertige, präzise Bildgebung mit überlegener Musterzeit zu liefern. Diese Ressource macht es den Benutzern einfacher und schneller, ihre gewünschten Ergebnisse zu erzielen.
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